太阳城集团

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曝光装置.pdf

摘要
申请专利号:

太阳城集团CN201080058060.9

申请日:

2010.12.09

公开号:

太阳城集团CN102668025B

公开日:

2015.01.28

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20101209|||公开
IPC分类号: H01L21/027; G03F7/20 主分类号: H01L21/027
申请人: 株式会社 V 技术
发明人: 水村通伸
地址: 日本国神奈川县
优先权: 2009.12.22 JP 2009-290649
专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张远
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法律状态
申请(专利)号:

CN201080058060.9

授权太阳城集团号:

太阳城集团102668025B||||||

法律状态太阳城集团日:

2015.01.28|||2012.11.14|||2012.09.12

法律状态类型:

授权|||实质审查的生效|||公开

摘要

太阳城集团本发明的曝光装置,具备:光束点生成单元(9),其接受光源光(L1)并以规定间隔相互错开地至少排列成2列而生成多个光束点;光扫描单元(10),其使上述多个光束点沿它们的排列方向在各组的规定范围内进行往返扫描;图案产生器(11),其被配置成使上述多个光束点的往返扫描的中心各自与中心轴一致,且通过对在与上述中心轴平行的对置面设置了一对电极的方柱状的由电光晶体材料构成的多个开关元件进行接通/断开驱动,从而对上述光源光(L1)进行光调制来生成规定的明暗图案;和投影透镜(12),其将上述明暗图案投影在滤色器基板(5)上,使上述各开关元件在上述光束点的扫描方向的宽度比上述光束点在相同方向的宽度大。

权利要求书

1.一种曝光装置,其特征在于,具备:
光束点生成单元,其接受光源光并以规定间隔相互错开地至少排列成
2列,从而生成多个光束点;
光扫描单元,其使上述多个光束点沿它们的排列方向在各自的规定范
围内进行往返扫描;
图案产生器,其被配置为使上述多个光束点的往返扫描的中心各自与
中心轴一致,且通过对多个开关元件进行接通/断开驱动,从而对上述光
源光进行光调制来生成规定的明暗图案,其中,上述多个开关元件在与上
述中心轴平行的对置面设置了一对电极,形状为方柱状,由电光晶体材料
构成;和
投影透镜,其将上述明暗图案投影在被曝光体上,
使上述各开关元件在上述光束点的扫描方向的宽度比上述光束点在
相同方向的宽度大。
2.根据权利要求1所述的曝光装置,其特征在于,
上述光束点生成单元是在平面内排列多个聚光透镜而成的微透镜阵
列。
3.根据权利要求1所述的曝光装置,其特征在于,
上述光束点生成单元是在平面内排列多个开口而成的光掩模。
4.根据权利要求1所述的曝光装置,其特征在于,
上述光扫描单元,在方形块状的电光晶体材料的对置侧面使规定宽度
的一对带状电极按照其长边中心轴与上述侧面的长宽中的任一方的中心
轴呈规定角度的方式形成倾斜,并使光在该一对电极之间通过。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的曝光装置,其特征在于,
上述被曝光体被设置为沿着与上述光束点的扫描方向大致正交的方
向连续地移动。

说明书

曝光装置

技术领域

本发明涉及对由电光晶体材料构成的开关元件进行驱动来生成规定
的明暗图案,并将该明暗图案曝光在被曝光体上的曝光装置,详细来说,
涉及对曝光位置进行模拟控制来提高曝光图案的定位精度的曝光装置。

背景技术

现有技术的这种曝光装置,通过将由电光晶体材料构成的多个开关元
件在二维平面内进行排列而成的图案产生器,来生成规定的图案,并对正
在向一个方向输送的被曝光体曝光该图案,上述图案产生器,在被曝光体
的输送方向以规定间隔配置多列开关元件列,并且将相邻的开关元件列彼
此在与被曝光体的输送方向正交的方向偏离规定量来进行配置,其中该开
关元件列是将多个开关元件在与被曝光体的输送方向正交的方向上以规
定间距配置成一条直线状而成的(例如参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1:JP特开2007-310251号公报

发明概要

发明要解决的课题

但是,在这样的现有技术的曝光装置中,由于曝光位置的分辨率由开
关元件的端面大小(像素大小)以及开关元件列向与被曝光体的输送方向
正交的方向的偏离量而决定,因此为了提高曝光位置的分辨率,必须使像
素大小变小,并且使开关元件列向与被曝光体的输送方向正交的方向的偏
离量变小,存在图案产生器的制造困难、部件成本提高之虞。

发明内容

因此,本发明的目的在于,提供一种应对这样的问题,对曝光位置进
行模拟控制,以提高曝光图案的定位精度的曝光装置。

用于解决课题的技术手段

为了实现上述目的,本发明的曝光装置,具备:光束点生成单元,其
接受光源光并以规定间隔相互错开地至少排列成2列而生成多个光束点;
光扫描单元,其使上述多个光束点沿它们的排列方向在各自的规定范围内
进行往返扫描;图案产生器,其被配置为使上述多个光束点的往返扫描的
中心各自与中心轴一致,且通过多个开关元件进行接通/断开驱动,从而对
上述光源光进行光调制来生成规定的明暗图案,其中,上述多个开关元件
在与上述中心轴平行的对置面设置了一对电极,形状为方柱状,由电光晶
体材料构成;和投影透镜,其将上述明暗图案投影在被曝光体上,使上述
各开关元件在上述光束点的扫描方向的宽度比上述光束点在相同方向的
宽度大。

通过采用这样的结构,通过光束点生成单元接受光源光,以规定间隔
相互错开地至少排列成2列以生成多个光束点,通过光扫描单元使该多个
光束点在它们的排列方向上在各自的规定范围内进行往返扫描,通过图案
产生器配置为使上述多个光束点的往返扫描的中心各自与中心轴一致,通
过对在与该中心轴平行的对置面设置了一对电极的方柱状的由电光晶体
材料构成的多个开关元件进行接通/断开驱动,从而对光源光进行光调制来
生成规定的明暗图案,通过投影透镜将该明暗图案投影在被曝光体上。这
种情况下,通过使各开关元件在光束点的扫描方向的宽度比光束点在相同
方向的宽度大,使光束点在开关元件上进行扫描,并对开关元件的驱动定
时进行控制,从而对被曝光体上的明暗图案的位置进行模拟控制。

另外,上述光束点生成单元是将多个聚光透镜在平面内排列而成的微
透镜阵列。这样,通过将多个聚光透镜在平面内进行排列而成的微透镜阵
列来生成多个光束点。

进而,上述光束点生成单元是在平面内排列多个开口而成的光掩模。
这样,通过在平面内具有多个开口的光掩模便生成多个光束点。

进而,另外,上述光扫描单元在方形块状的电光晶体材料的对置侧面
使规定宽度的一对带状电极按照其长边中心轴与上述侧面的长宽中的任
一方的中心轴呈规定角度的方式形成倾斜,并使光在该一对电极之间通
过。这样,通过在方形块状的电光晶体材料的对置侧面使规定宽度的一对
带状电极按照其长边中心轴与上述侧面中长宽的任一方的中心轴呈规定
角度的方式形成倾斜,并使光在该一对电极之间通过的光扫描单元,使多
个光束点分别在规定范围内进行往返扫描。

并且,上述被曝光体被设置为沿着与上述光束点的扫描方向大致正交
的方向连续地移动。这样,一边在与光束点的扫描方向大致正交的方向对
被曝光体进行连续移动,一边进行曝光。

发明效果

根据第一技术方案涉及的本发明,由于使开关元件在光束点的扫描方
向的宽度比光束点在相同方向的宽度更大,故而能够使光束点在开关元件
上进行扫描。因而,通过对开关元件的驱动定时进行控制,从而能够对通
过多个开关元件进行光调制并对在被曝光体上形成的明暗图案的位置进
行模拟控制。这样,即使是将多个开关元件至少排列成2列而成的简单构
成的图案产生器,也既能够使曝光图案的定位精度提高,又能够降低装置
的制造成本。

另外,根据第二技术方案涉及的发明,能够对光源光进行聚光来生成
光束点,能够使光源光的利用效率提高。因此,能够使所使用的光源的功
率变小,能够减轻光源的负担。

进而,根据第三技术方案涉及的发明,能够采用使用光刻技术形成的
光掩模来生成多个光束点。因此,能够高精度地形成该多个光束点的形状
以及位置,能够进一步提高曝光图案的定位精度。

进而,根据第四技术方案涉及的发明,能够通过驱动电压对光束点的
扫描进行控制。因此,如果预先取开关元件上的光束点的位置与驱动电压
之间的相关,便能够根据驱动电压得知开关元件上的光束点的位置,能够
由驱动电压控制开关元件的驱动定时。

并且,根据第五技术方案涉及的发明,能够一边连续地移动被曝光体,
一边进行曝光,能够缩短曝光工序的单工序所需太阳城集团(tact time)。

附图说明

图1是表示本发明的曝光装置的实施方式的概要图。

图2是表示上述实施方式所使用的滤色器基板的一构成例的俯视图。

图3是表示本发明的曝光装置的光束点生成单元的一构成例的图,
(a)为俯视图,(b)为主视图。

图4是表示本发明的曝光装置的光扫描单元的一构成例的图,(a)
为立体图,(b)为图(a)的O箭头方向的视图。

图5是表示本发明的曝光装置的开关元件组装体的一构成例的俯视
图。

图6是表示上述开关元件组装体的各开关元件的动作的说明图,(a)
表示断开驱动状态,(b)表示接通驱动状态。

图7是说明上述开关元件组装体的形成方法的工序图。

图8是表示上述开关元件组装体的其他形成方法的说明图,示出最终
工序。

图9是表示本发明的曝光装置的开关元件组装体与拍摄单元之间的位
置关系的说明图。

图10是表示本发明的曝光装置的控制单元的构成的框图。

图11是表示对上述光扫描单元进行驱动的驱动信号波形的说明图。

图12是表示本发明的曝光装置的曝光动作的说明图。

图13是表示通过上述曝光动作形成的曝光图案的一例的说明图。

具体实施方式

以下,基于附图对本发明的实施方式进行详细说明。图1是表示本发
明的曝光装置的实施方式的概要图。该曝光装置对由电光晶体材料构成的
开关元件进行驱动以生成规定的明暗图案,并将该明暗图案曝光在被曝光
体上,且具备:输送单元1、曝光光学构件2、拍摄单元3、以及控制单元
4。以下,针对被曝光体为滤色器基板的情况进行说明。

图2是使用于本发明的曝光装置的滤色器基板5的俯视图。该滤色器
基板5是在透明的玻璃基板的表面形成具备矩阵状的使光透射的多个像素
6的黑矩阵而成的。

上述输送单元1,将涂布了规定的彩色抗蚀剂的滤色器基板5载置在
底座(stage)7的上表面并向一个方向(图1所示的箭头A方向)连续进
行输送,例如通过使电动机和齿轮等进行组合而构成的移动机构对底座7
进行移动。或者,也可以在底座7的表面具备气体的喷出口以及吸入口,
使气体喷出力出以及吸入力平衡来使滤色器基板5在底座7上以规定量浮
起的状态下进行输送。并且,在输送单元1设置用于对滤色器基板5的移
动距离进行测量的位置传感器(省略图示)。

在上述输送单元1的上方设置曝光光学构件2。该曝光光学构件2,
对光源光L1进行光调制来生成规定的明暗图案的曝光光L2,将该曝光光
L2向滤色器基板5的表面进行照射来对滤色器基板5的对应像素6上的彩
色抗蚀剂进行曝光,且从光的前进方向的上游侧起依次具备:光源装置8、
光束点生成单元9、光扫描单元10、图案产生器11、以及投影透镜12。

在此,上述光源装置8使具有均匀的亮度分布的光源光L1的平行光向
后述的光束点生成单元9进行照射,且其构成具备:放射紫外线的激光光
源;对从该激光光源放射的光源光L1的光束直径进行扩大的光束扩展器;
使光束直径被扩大了的光源光L1的亮度分布均匀化的例如光学积分器;将
亮度分布均匀化了的光源光L1变成平行光的聚束透镜。

另外,上述光束点生成单元9接受光源光L1后在图1中沿着与箭头A
所示的基板输送方向正交的方向以排列间距W1相互错开地至少排列2列
以生成多个光束点,具体而言,如图3所示,是在透明基板14的表面将
多个聚光透镜13例如排列成2列而成的微透镜阵列。这种情况下,2列的
透镜列15的间隔被设定W2。另外,在各聚光透镜13的周围形成遮光膜
16,以切断光的透射。

进而,上述光扫描单元10使上述光束点生成单元9生成的多个光束
点沿着与基板输送方向(箭头A方向)正交的方向上(上述多个聚光透镜
13的排列方向)在各自的规定的范围内进行往返扫描,如图4(a)所示,
在方形块状的电光晶体材料17的对置侧面17a,使规定宽度的一对带状电
极18按照其长边中心轴与上述侧面17a的长宽中任一方的中心轴之间呈
规定角度的方式形成倾斜,使光在该一对电极18之间通过。这种情况下,
若对两个电极18之间施加电场,则由两个电极18夹持的部分的电光晶体
材料17的折射率发生变化,会在该两个电极18所夹持的部分与其他部分
之间(界面17b)产生折射率差。因此,根据该折射率差,光源光L1在上
述界面17b折射。因而,当使光扫描单元10在上述电极18之间的电场改
变来使上述界面17b的折射率差改变时,如该图4(b)所示,从光扫描单
元10射出的光源光L1以规定的摆角θ进行摆动,光束点19在该图所示的
箭头B,C方向上在后述的开关元件21(图5参照)上进行往返扫描。

进而,另外,上述图案产生器11通过后述的控制单元4(图10参照)
而控制,对光源光L1进行光调制来生成规定的明暗图案(曝光光L2),
如图4(b)所示,使多个光束点19的往返扫描的中心与各自的中心轴一
致地来形成多个开关元件21,该多个开关元件21沿着图5中箭头B、C
所示的光束点19的扫描方向(与图1中箭头A所示的基板输送方向正交
的方向)以排列间距W1相互错开地排列配置成2列,与上述光束点19的
扫描方向(箭头B、C方向)对应的宽度W3(在本实施方式中,由W3=
W1表示)被形成为比光束点19在同方向的宽度W4更大,并且在与平行
于光束点19的扫描方向的侧面对置地设置了一对电极20,形状为方柱状,
且由电光晶体材料构成。另外,2列开关元件列22a、22b的中心线间距离,
与光束点生成单元9的2列透镜列15的中心线间距离W2相等。并且,图
案产生器11的构成包含:具备上述多个开关元件21的开关元件组装体23;
与光扫描单元10的入射侧端面接近配置的偏振板24;以及与开关元件组
装体23的射出侧端面接近配置的偏振板25。这种情况下,两个偏振板24、
25,呈使偏光轴相互正交的正交尼科耳(cross Nicol)配置。

按照这样构成的图案产生器11,以如下方式执行动作。即,如图6
所示,透过光束点生成单元9的聚光透镜13的光源光L1,在由偏振板24
而成为直线偏光之后,入射至开关元件21的入射侧端面21a。这种情况下,
如图6(a)所示,当未对开关元件21的电极20施加电压时,开关元件
21进行断开驱动,通过开关元件21内的直线偏光的偏振面没有旋转。因
此,从开关元件21的射出侧端面21b射出的直线偏光的偏振面,与偏振
板25的偏光轴正交,直线偏光被该偏振板25切断。

另一方面,如图6(b)所示,对开关元件21的电极20施加规定的电
压后对开关元件21进行接通驱动时,通过该开关元件21内的直线偏光的
偏振面旋转90°。因此,从开关元件21的射出侧端面21b射出的直线偏
光的偏振面与偏振板25的偏光轴一致,直线偏光会通过偏振板25。这样,
图案产生器11通过根据规定的图案对多个开关元件21进行接通/断开驱
动,从而能够生成被光调制成明暗的曝光光L2进行射出。

接着,针对上述开关元件组装体23的形成方法参照图7进行说明。

首先,在由如图7(a)所示这样的电光晶体材料构成的长条状板材
26的一面,如图7(b)所示,使用切割锯与其长轴平行地形成深度D的
槽27,从而相对于长边中心轴对称地形成宽度W5的一对凸部28。这时,
两个凸部28的中心线间隔被设为间隔W2。

接着,如图7(c)所示,在与上述一对凸部28的长轴平行的两个侧
面以及槽27的底面部,采用公知的技术形成导电膜29。

接着,如图7(d)所示,使用刀片的齿厚为W3(=W1)的切割锯在
上述一对凸部28的短轴方向以间距2W3形成深度比上述槽27的深度D
更深的宽度W3(W3>W5)的分离槽30,将一对凸部28分断成多个后形
成多个开关元件21。这时,在图7(d)中,对于右侧凸部28,将切割锯
的刀片向箭头E方向移动将右侧凸部28分割,之后,对于左侧凸部28,
将切割锯的刀片向箭头F方向移动以留下与右侧凸部28的相邻的分离槽
30之间对应的左侧凸部28部分,来分断左侧凸部28。这样,便形成多个
开关元件21相互错开地排列成2列的开关元件组装体23。这种情况下,
若将沿长轴方向延伸的中央的槽27的底面部的导电膜29作为接地电极端
子,则通过各开关元件21的一对电极20,开关元件组装体23的长边中心
轴侧的电极20便成为接地电极。

图8是表示上述开关元件组装体23的其他形成方法的说明图。如图8
所示,对于在与图7(c)所示的一对凸部28的长轴平行的侧面以及槽27
的底面部形成了导电膜29的电光晶体材料的长条状板材26,使用切割锯,
使深度比上述槽27的深度D更深的分离槽30相对于上述一对凸部28形
成倾斜,并将一对凸部28分断为多个。这时,通过适当地设定一对凸部
28的中心线间隔W2以及上述分离槽的相对于一对凸部28的长轴的倾斜
角度φ,从而能够使从基板移动方向(箭头A方向)看相邻的开关元件
21的端部21c如该图8中虚线所示那样交叠(overlap)。这样,在一边对
滤色器基板5沿着图1中箭头A方向进行移动一边进行曝光时,通过在基
板移动方向上先后存在的开关元件21的端部21c进行反复曝光,能够避
免在曝光图案的一部产生未曝光部的问题。这种情况下,如图8所示,由
于将开关元件21的端部21c倾斜地进行切除,因此基于该端部21c的平
均曝光量成为在形成直角的端部21c的情况下的曝光量的一半。因此,通
过上述反复曝光得到规定的曝光量,能进行规定深度的曝光。因而,能够
避免因反复曝光导致的过量曝光的问题。

另外,上述投影透镜12,将由上述图案产生器11生成的明暗图案缩
小投影在滤色器基板5面上,且投影透镜12的构成包含:成像透镜31、
和物镜32。

在上述曝光光学构件2的跟前侧,朝向基板输送方向(箭头A方向)
设置拍摄单元3。该拍摄单元3对滤色器基板5表面进行拍摄,是与基板
输送方向大致正交地将多个受光元件排列成一条直线状的线式相机,如图
9所示,相对于开关元件组装体23的朝向基板输送方向处于跟前侧的开关
元件列22a的中心轴,仅隔开距离L而配置。这种情况下,将开关元件组
装体23和拍摄单元3相互定位后进行配置,开关元件组装体23的开关元
件21A与拍摄单元3在长边中心轴上的位置x1~x2对应,开关元件21B
与位置x2~x3对应,开关元件21C与位置x3~x4对应,开关元件21D与
位置x4~x5对应,开关元件21E与位置x5~x6对应,开关元件21F与位置
x6~x7对应。另外,与拍摄单元3的拍摄位置对置地在底座7的下侧,设
置省略图示的照明单元,对滤色器基板5的上述拍摄位置进行照明以能够
由拍摄单元3进行基板表面的拍摄。

与上述输送单元1、光扫描单元10、图案产生器11的开关元件组装
体23、以及拍摄单元3电连接地设置控制单元4。该控制单元4对各构成
要素适当地进行驱动,如图10所示,具备:图像处理部33、运算部34、
存储器35、输送单元驱动控制器36、光扫描单元驱动控制器37、开关元
件驱动控制器38、以及控制部39。

在此,上述图像处理部33对由拍摄单元3获取的滤色器基板5的像
素6的一维图像进行处理,来对亮度骤变的位置进行检测,并检测该位置
为像素6的边缘部的位置。

另外,上述运算部34,基于输送单元1的位置传感器的输出来计算滤
色器基板5的移动距离,当滤色器基板5移动和预先设定并保存在后述的
存储器35中的拍摄单元3与开关元件组装体23的各开关元件列22a、22b
之间的距离L、(L+W2)相等的距离时,对后述的开关元件驱动控制器
38发出驱动指令。

进而,上述存储器35预先对激光光源功率、以及拍摄单元3与开关
元件组装体23的各开关元件列22a、22b之间的距离L、(L+W2)等初
始设定值的数据进行保存,并且对运算部34中的运算结果以及由图像处
理部33检测到的像素6的边缘部的位置数据进行临时保存。

另外,上述输送单元驱动控制器36对输送单元1的移动机构进行驱
动来使底座7在图1中沿着箭头A方向以恒定速度连续移动。

进而,上述光扫描单元驱动控制器37向光扫描单元10发送图11所
示的锯齿状的驱动信号,使在光扫描单元10中的由带状电极18所夹持的
部分与其他部分之间的界面17b产生的折射率差在规定范围内连续发生变
化,使从光扫描单元10射出的激光的光束点19在规定的范围内往返扫描。
这种情况下,由于光束点19的扫描速度依赖于上述锯齿状的驱动信号的
反复周期,因此对驱动信号的反复周期进行控制来使光束点19的扫描速
度与输送单元1的底座7的移动速度(与滤色器基板5的移动速度相等)
同步。另外,光束点19的扫描速度,通常,按照滤色器基板5在前进距
离W5(W5与开关元件21在基板输送方向的宽度相等)或者比该距离W5
短的距离期间往返扫描一次的方式被设定。另外,在本实施方式中,光束
点19的扫描速度,相对于滤色器基板5的移动速度被设定为足够快。另
外,按照光束点19返回的扫描速度成为前往时的扫描速度的约10倍的方
式,将驱动信号的下降速度控制为上升速度的10倍。

进而,另外,上述开关元件驱动控制器38接受从运算部34传送的驱
动指令,逐次读出在存储器35中保存的像素6的边缘部的位置数据,并
将用于对与该位置数据对应的各开关元件21进行接通/断开驱动的驱动信
号发送给开关元件组装体23。这种情况下,开关元件驱动控制器38,在
进行往返扫描的光束点19的前去扫描期间将接通/断开驱动信号发送给开
关元件组装体23,在光束点19的返回扫描期间,发送断开驱动信号。

然后,上述控制部39,是按照适当地驱动上述各要素的方式进行控制
的CPU。

接着,针对按照这样构成的曝光装置的动作进行说明。

首先,将涂布了规定的彩色抗蚀剂的滤色器基板5定位并载置在输送
单元1的底座7上的规定位置。然后,当接通起动开关时,输送单元1被
控制单元4的输送单元驱动控制器36控制而起动,滤色器基板5向图1
所示的箭头A方向以恒定速度被输送。

当滤色器基板5被输送而到达拍摄单元3的拍摄位置时,通过拍摄单
元3来拍摄滤色器基板5的表面,该一维的拍摄图像在控制单元4的图像
处理部33中被进行图像处理。这时,在图像处理部33中,检查上述拍摄
图像在与基板输送方向(箭头A方向)正交的方向的亮度变化,将亮度超
过规定的阈值而骤变的位置检测作为像素6(明部)的边缘部。

具体而言,如图12(a)所示,当滤色器基板5被输送,若像素6的
基板输送方向开头端到达拍摄单元3的拍摄位置,则基于这时所拍摄的拍
摄图像,检测例如线P1上的像素6(明部)的边缘部的位置x8,x9,x10,
x11…,并将该位置数据保存在存储器35。这种情况下,如果按照每隔两
个对像素6(明部)进行检测的方式进行预先设定,则能够忽略位于相同
颜色(例如红色)的相邻两个像素6R之间的其他颜色(例如绿色、蓝色)
的像素6G、6B。

当在图12(a)中将滤色器基板5向箭头A方向进行输送,使线P1
与开关元件组装体23的开关元件列22a的中心轴一致时,通过该开关元
件列22a的各开关元件21选择性地对线P1上的规定位置进行曝光。即,
线P1上的位置x8,x3之间、位置x4,x9之间以及位置x12,x13之间,分别
由开关元件21C,21E,21K担当进行曝光。这种情况下,开关元件21C
仅在光束点19对位置x8,x3之间进行扫描期间由开关元件驱动控制器38
进行控制而被接通驱动。同样地,开关元件21E,仅在光束点19对位置
x4,x9之间进行扫描期间被接通驱动,开关元件21K,仅在光束点19对位
置x12,x13之间进行扫描期间被接通驱动。这样,如该图中交叉阴影所示,
像素6R上的位置x8,x3之间、位置x4,x9之间以及位置x12,x13之间的
区域被曝光。这时,开关元件列22a的开关元件21A、21G、21I、21M
被断开驱动。另外,开关元件21上的光束点19的位置与基于光扫描单元
10的激光光束的摆角θ相关,该激光光束的摆角θ与基于光扫描单元驱动
控制器37的驱动信号电压相关。因此,开关元件21上的光束点19的位
置根据上述驱动信号电压便能够得知。

之后,一边对光束点19进行往返扫描,一边与上述同样地对开关元
件列22a的各开关元件21进行驱动,对以恒定速度正在移动的滤色器基
板5执行曝光。另外,图12(a)中,在光束点19进行一次往返期间,基
于在向与线P1的箭头A相反的方向逐次偏离了与滤色器基板5移动的距
离相等的距离的位置所拍摄的图像数据,对上述各开关元件21进行驱动
来进行该曝光。

然后,如图12(b)所示,当移动滤色器基板5以使线P1与开关元件
列22b的中心轴一致时,通过该开关元件列22b的各开关元件21B、21D、
21F、21H、21J、21L选择性地对线P1上的规定位置选择性地进行曝光。
即,线P1上的位置x4、x5之间、位置x10,x12之间以及位置x13,x11之间,
与上述同样地分别由开关元件21D、21J、21L担当进行曝光。这时,开关
元件21B、21F、21H被断开驱动。

另一方面,从存储器35读出相对于线P1沿着与箭头A相反的方向偏
离了W2的线P2上的像素6R的边缘部的位置数据,通过开关元件驱动控
制器38来驱动开关元件列22a的各开关元件21。然后,线P2上的像素6R
的位置x3,x4之间通过开关元件21C而被曝光,像素6R的位置x12,x13
之间通过开关元件21K而被曝光。这时,开关元件21A、21E、21G、21J、
21M被断开驱动。

之后,对于以恒定速度正在移动的滤色器基板5,一边往返扫描光束
点19,一边由开关元件列22a对像素6R上的规定位置先行进行曝光,并
且由开关元件列22b对开关元件列22a的各开关元件21之间的部分进行
插补曝光。这样,如图13中交叉阴影所示,像素6R上被曝光而形成规定
的曝光图案40。如本实施方式所示,在光束点的扫描速度比滤色器基板5
的移动速度足够快的情况下,如图13所示,能够使相对于基板输送方向
斜向交叉的曝光图案的边缘部或圆形曝光图案的边缘部光滑地形成。另
外,由于能够对与基板输送方向正交的方向的光束点的照射位置模拟地进
行控制,因此与现有技术的数字控制不同,能够进行更加致密的图案曝光。

另外,在上述实施方式中,虽然针对开关元件组装体23由2列开关
元件列22a、22b构成的情况进行了说明,但本发明并不限于此,也可以
将2列开关元件列22a、22b作为一组,将多个组沿基板输送方向以规定
间距排列配置。这样,便能够通过多组的开关元件列22a、22b的各开关
元件21对滤色器基板5在像素6的区域进行多重曝光,能够降低激光光
源的功率而减轻激光光源的负担

另外,在上述实施方式中,虽然针对光束点生成单元9为微透镜阵列
的情况进行了说明,但本发明并非限于此,光束点生成单元9也可以是将
多个开口在平面内排列而成的光掩模。

进而,在上述实施方式中,虽然针对光扫描单元10在方形块状的电
光晶体材料17的对置侧面17a,使规定宽度的一对带状电极18按照其长
边中心轴与侧面18的长宽中任一方的中心轴之间呈规定角度的方式形成
倾斜的情况进行了说明,但本发明并非限于此,只要光扫描单元10是例
如电磁致动器或声响光学元件等、能够往返扫描激光光束的元件即可。

并且,以上说明中,虽然针对被曝光体为滤色器基板5的情况进行了
描述,但本发明并非限于此,被曝光体也可以是例如电路基板等任意部件。

符号的说明

5…滤色器基板(被曝光体)

9…光束点生成单元

10…光扫描单元

12…投影透镜

13…聚光透镜

17…电光晶体材料

17a…对置侧面

18,20…电极

19…光束点

21,21A~21M…开关元件

L1…光源光

L2…曝光光

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曝光 装置
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