太阳城集团

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检查系统、检查方法及检查装置.pdf

摘要
申请专利号:

太阳城集团CN201210060258.1

申请日:

2012.03.08

公开号:

CN102693924B

公开日:

2015.01.28

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20120308|||公开
IPC分类号: H01L21/66 主分类号: H01L21/66
申请人: 株式会社东芝
发明人: 小林纱由美; 浪冈保男; 麻柄隆; 山田涉
地址: 日本东京都
优先权: 2011.03.23 JP 064253/2011
专利代理机构: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 徐冰冰;黄剑锋
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法律状态
申请(专利)号:

太阳城集团CN201210060258.1

授权太阳城集团号:

102693924B||||||

法律状态太阳城集团日:

2015.01.28|||2012.11.21|||2012.09.26

法律状态类型:

太阳城集团授权|||实质审查的生效|||公开

摘要

根据一个实施形态,本发明提供具备抽样检查部、检查插补部、等级划分部以及太阳城集团制作部的检查系统。抽样检查部收集通过抽样检查获得的元件的特性值。检查插补部使用插补法求出没进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值。等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和通过上述检查插补部求出的元件的特性值按等级制作与元件组有关的太阳城集团。太阳城集团制作部根据与上述等级和上述元件组有关的太阳城集团制作所希望的太阳城集团。

权利要求书

1.一种检查系统,其特征在于,
具备:
抽样检查部,收集通过抽样检查获得的元件的特性值;
检查插补部,使用插补法求取没进行过上述抽样检查的未检查的元件
的特性值;
等级划分部,根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和
通过上述检查插补部求得的元件的特性值,按等级制作与元件组有关的信
息;以及
太阳城集团制作部,根据与上述等级和上述元件组有关的太阳城集团制作所希望的
太阳城集团。
2.如权利要求1所述的检查系统,还具备抽样条件设定部,该抽样条
件设定部对检查对象区域的一部分进行检查,根据通过上述检查对象区域
的一部分的检查而求得的元件的特性值的变化,进行取样点的设定的恰当
化。
3.如权利要求1所述的检查系统,
上述抽样检查按将检查对象区域分割后的检查块进行;
还具备使每个上述检查块中的上述特性值的方差变小地进行上述检查
对象区域的分割的恰当化的检查块分割部。
4.如权利要求1所述的检查系统,上述检查插补部使用样条插补法求
取上述未检查的元件的特性值。
5.如权利要求1所述的检查系统,
上述检查插补部根据过去太阳城集团求取上述未检查的元件的特性值的先验
分布;
根据上述先验分布和从上述抽样检查过的元件的特性值求出的概率密
度,求取上述未检查的元件的特性值的后验分布;
根据上述后验分布求取上述未检查的元件的特性值的概率密度。
6.如权利要求1所述的检查系统,
上述等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值
和通过上述检查插补部求得的元件的特性值,选择成为所希望的等级的概
率最高的第1元件;
选择位于上述第1元件附近、成为所希望的等级的概率高的第2元件,
制作与包含上述第1元件和上述第2元件的上述元件组有关的太阳城集团;
选择位于上述元件组附近、成为所希望的等级的概率高的第3元件;
制作与还包含上述第3元件的上述元件组有关的太阳城集团。
7.如权利要求1所述的检查系统,
上述等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值
和通过上述检查插补部求得的元件的特性值,求取特性值的平均值和标准
偏差;
还根据上述特性值的平均值和上述标准偏差求取混入应该作为其他等
级的元件的危险性。
8.如权利要求1所述的检查系统,抽样条件设定部一阶微分处理上述
特性值的变化,根据通过上述一阶微分处理求得的计算值进行取样点的设
定。
9.一种检查方法,
具备:
根据取样规则进行元件的特性值的抽样检查的步骤;
使用插补法求取没有进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值的
步骤;
根据上述抽样检查过的元件的特性值和上述求得的未检查的元件的特
性值按等级形成元件组的步骤;以及
根据与上述等级和上述元件组有关的太阳城集团制作所希望的太阳城集团的步骤。
10.一种检查装置,具备:
保存通过抽样检查获得的元件的特性值的保存部;
根据保存在上述保存部中的上述特性值,使用插补法计算没有进行过
上述抽样检查的未检查的元件的特性值,并且根据上述收集到的通过抽样
检查获得的元件的特性值和上述计算出的未检查的元件的特性值,按等级
计算与元件组有关的太阳城集团的计算部;
执行从上述计算部获得的与上述等级和上述元件组有关的太阳城集团的输出
的输出部;以及
显示与上述等级和上述元件组有关的太阳城集团的显示部。
11.如权利要求10所述的检查装置,上述计算部和输出部由计算机实
现。

关 键 词:
检查 系统 方法 装置
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