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剥离液组合物、使用了该剥离液组合物的树脂层的剥离方法.pdf

摘要
申请专利号:

太阳城集团CN200880118038.1

申请日:

2008.10.17

公开号:

CN101878452B

公开日:

2015.01.07

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情: 授权|||专利申请权的转移IPC(主分类):G03F 7/42变更事项:申请人变更前权利人:汉高公司变更后权利人:汉高美国知识产权有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:美国康涅狄格州变更后权利人:美国康涅狄格州登记生效日:20140827|||专利申请权的转移IPC(主分类):G03F 7/42变更事项:申请人变更前权利人:汉高美国知识产权有限责任公司变更后权利人:汉高知识产权及控股有限公司变更事项:地址变更前权利人:美国康涅狄格州变更后权利人:德国杜塞尔多夫登记生效日:20140827|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20081017|||公开
IPC分类号: G03F7/42; H01L21/027; H01L21/304 主分类号: G03F7/42
申请人: 汉高知识产权及控股有限公司
发明人: 金成正夫; 佐口琢哉
地址: 德国杜塞尔多夫
优先权: 2007.10.17 JP 2007-270273
专利代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 王健
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法律状态
申请(专利)号:

太阳城集团CN200880118038.1

授权太阳城集团号:

太阳城集团101878452B||||||||||||

法律状态太阳城集团日:

太阳城集团2015.01.07|||2014.09.17|||2014.09.17|||2010.12.15|||2010.11.03

法律状态类型:

授权|||专利申请权、专利权的转移|||专利申请权、专利权的转移|||实质审查的生效|||公开

摘要

提供剥离液组合物,其对滤色器、光刻胶、罩面层等树脂层的剥离性优异,兼具对于金属配线等包含金属类的构件的防蚀作用。该剥离液组合物含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂。

权利要求书

1.剥离液组合物,其用于剥离树脂层,含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂的组合。2.权利要求1所述的剥离液组合物,其特征在于,还含有水。3.权利要求1或2所述的剥离液组合物,其特征在于,所述链烷醇胺类含有选自单乙醇胺、异丙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺和2-(2-氨基乙氧基)乙醇中的至少1种。4.权利要求1~3任一项所述的剥离液组合物,其中,所述芳香族醇类含有选自苄醇、苯乙醇和羟基苄醇中的至少一种。5.权利要求1~4任一项所述的剥离液组合物,其中,所述防蚀剂含有选自苯并三唑系化合物、芳香族羟基化合物、含有巯基的化合物、糖类、硼酸及其盐、硅酸盐中的至少1种。6.权利要求1~5任一项所述的剥离液组合物,其中,所述链烷醇胺类在所述剥离液组合物中所占的比例为5~70质量%,所述芳香族醇类在所述剥离液组合物中所占的比例为5~80质量%,所述防蚀剂在所述剥离液组合物中所占的比例为0.01~10质量%,所述水在所述剥离液组合物中所占的比例为0~60质量%。7.权利要求1~6任一项所述的剥离液组合物,其中,所述树脂层包含选自滤色层、光刻胶层和罩面层、树脂间隔层、取向膜层中的至少1种的层。8.权利要求1~7任一项所述的剥离液组合物,其中,所述树脂层为在包含金属类的构件上形成的层。9.权利要求8所述的剥离液组合物,其中,所述金属为包含Cu和Al的至少一种的金属。10.权利要求8所述的剥离液组合物,其中,所述构件选自配线、反射膜和遮光层。11.权利要求7所述的剥离液组合物,其中,所述树脂层为正型或负型光刻胶层。12.树脂层的剥离方法,其具有使权利要求1~11任一项所述的剥离液组合物与树脂层接触的工序。13.制造物,其通过具有权利要求12的剥离方法作为1个工序的制造方法制造。

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