太阳城集团

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直接曝光装置.pdf

摘要
申请专利号:

CN201510617271.6

申请日:

2015.09.24

公开号:

太阳城集团CN105467773A

公开日:

2016.04.06

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150924|||公开
IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
申请人: 株式会社ORC制作所
发明人: 桥本典夫; 森田亮
地址: 日本东京都
优先权: 2014-196543 2014.09.26 JP; 2014-196544 2014.09.26 JP
专利代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司11127 代理人: 李辉; 黄纶伟
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法律状态
申请(专利)号:

太阳城集团CN201510617271.6

授权太阳城集团号:

||||||

法律状态太阳城集团日:

2018.10.09|||2017.10.20|||2016.04.06

法律状态类型:

授权|||实质审查的生效|||公开

摘要

太阳城集团直接曝光装置,在将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件的直接曝光装置中,能够在抑制曝光辊直径增大的同时,扩大曝光图像的焦点对准区,并使描绘图案的线条变细。该直接曝光装置具有:圆筒部件,其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间,在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转;引导构件,其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处,沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件;以及曝光构件,其在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内,对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。

权利要求书

1.一种直接曝光装置,其使用了光调制元件阵列,将图案曝光于从供给卷轴送
出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件,所述直接曝光装置的特征在于,具有:
圆筒部件,其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间,在其周面的一定范围内保持长条
状工件的同时进行旋转;
切线方向引导构件,其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处,沿与上
述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件;以及
第1曝光构件,其至少在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内,对从
上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。
2.根据权利要求1所述的直接曝光装置,其中,
在上述前后一定范围内,从脱离位置到输送方向下游侧的范围比从脱离位置到输
送方向上游侧的范围宽。
3.根据权利要求1所述的直接曝光装置,其中,
拍摄形成于上述长条状工件的对准标记的对准相机配置在隔着上述圆筒部件而
与上述曝光构件相对的位置处。
4.根据权利要求3所述的直接曝光装置,其中,
上述第1曝光构件的光轴和对准相机的光轴朝向铅垂方向。
5.根据权利要求3所述的直接曝光装置,其中,
上述圆筒部件至少在上述第1曝光构件的曝光位置和上述对准相机的拍摄位置
处,将上述长条状工件保持在其周面上。
6.根据权利要求1所述的直接曝光装置,其中,
所述直接曝光装置还具有:平面引导构件,其在长条状工件从上述圆筒部件脱离
的脱离位置的下游侧,在长条状工件不与引导面接触的状态下将该长条状工件支撑为
平面状;以及第2曝光构件,其在上述平面引导构件上,对上述长条状工件进行曝光。
7.根据权利要求6所述的直接曝光装置,其中,
上述第2曝光构件的曝光区跨越上述长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位
置和平面引导构件上的位置。
8.根据权利要求6所述的直接曝光装置,其中,
上述第1曝光构件的曝光区和第2曝光构件的曝光区存在于大致同一平面上。
9.根据权利要求6所述的直接曝光装置,其中,
上述平面引导构件是具有气体吹出构件和气体抽吸构件的悬浮抽吸引导构件。

说明书

直接曝光装置

技术领域

本发明涉及所谓的卷对卷方式的直接曝光装置,在从供给卷轴送出并被卷绕卷轴
卷绕的长条状工件的输送中,对其正反的一个面描绘图案。

背景技术

通常,作为用于移动电话和移动设备等的电子电路基板(印刷电路基板)的基底
材料,例如使用将厚度为0.1mm以下且长度为500mm以上(例如,100m)的长条
状工件(感光性长条膜(在正反的至少一个面上涂覆感光体而成的合成树脂制柔软
膜))形成为卷状的工件。此外,近年来,不使用转印掩模地将描绘光直接照射到基
板而描绘出图案的直接曝光装置在市场中涌现出,对长条状工件也采用这种曝光方式
的要求日益强烈。

作为这种卷对卷方式的直接曝光装置,为了进行连续的长条状工件的输送和曝
光,公知有如下的直接曝光装置:利用位于供给卷轴与卷绕卷轴之间的平板状的输送
机(曝光输送机),保持长条状工件,并在该输送机上进行曝光(专利文献1)。

此外,还公知有如下的直接曝光装置:对在位于供给卷轴与卷绕卷轴之间的辊(曝
光辊)的圆筒面上行进的长条状工件进行曝光(专利文献2)。

【专利文献1】日本特开2006-098720号公报

【专利文献2】日本特开2014-035412号公报

如果对在平面状的输送机上进行曝光的方式与在圆筒状的辊上进行曝光的方式
进行比较,输送机方式在使工件的整个被曝光区域为平面状的方面比较优异,但是,
由于流水线长度增长,曝光装置容易大型化,并且在曝光位置处局部进行观察的情况
下的面精度较差。与此相对,由于辊方式能够缩短流水线长度,所以能够实现曝光装
置的小型化,并且在面精度(面的平滑性)和工件进给精度的方面优异。另一方面,
辊方式由于在圆筒面(曲面)上进行曝光,所以存在曝光图像的焦点对准区窄,细线
的描绘较困难的问题。如果增大曝光辊直径,则该问题得到缓解,但牺牲了小型化。

此外,从工件的进给精度的观点来看,在输送机方式中,由于输送带的曲折或伸
缩等影响,进给精度有可能降低。另一方面,对于辊方式,虽然在将工件吸附到辊上
的吸附区中能够获得较高的进给精度,但如上所述,由于吸附区不是平面(为圆筒面),
所以存在曝光图像的焦点对准区窄的问题。

发明内容

本发明的第一目的在于获得一种直接曝光装置,在曝光辊方式的直接曝光装置
中,能够在抑制曝光辊直径增大的同时,扩大曝光图像的焦点对准区,并使描绘图案
的线条变细。

此外,本发明的第二目的在于获得一种直接曝光装置,在吸附工件地进行移动的
辊方式的直接曝光装置中,能够灵活运用吸附输送工件的圆筒部件的高进给精度,保
持工件的平面性来提高曝光图像的精度,并使描绘图案的线条变细。

本发明是一种直接曝光装置,其使用了光调制元件阵列,将图案曝光于从供给卷
轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件,所述直接曝光装置的特征在于,具有:
圆筒部件,其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间,在其周面的一定范围内保持长条状工
件的同时进行旋转;切线方向引导构件,其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离
位置处,沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件;
以及第1曝光构件,其至少在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内,对从
上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。

优选为在上述前后一定范围内,从脱离位置到输送方向下游侧的范围比从脱离位
置到输送方向上游侧的范围宽。

本发明的直接曝光装置还优选为,拍摄形成于上述长条状工件的对准标记的对准
相机配置在隔着上述圆筒部件而与上述曝光构件相对的位置处。

还优选为,曝光构件的光轴和对准相机的光轴朝向铅垂方向。

上述圆筒部件优选至少在上述曝光构件的曝光位置和上述对准相机的拍摄位置
处,将上述长条状工件保持在其周面上。

本发明还优选为,具有:圆筒部件,其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间,在其周
面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转;平面引导构件,其在长条状工件从
上述圆筒部件脱离的脱离位置的下游侧,在长条状工件不与引导面接触的状态下将该
长条状工件支撑为平面状;以及第2曝光构件,其在上述平面引导构件上,对上述长
条状工件描绘图案。

上述第2曝光构件的曝光区在其一个方式中,能够跨越上述长条状工件从上述圆
筒部件脱离的脱离位置和平面引导构件上的位置。

上述第1曝光构件的曝光区和第2曝光构件的曝光区实际上位于大致同一平面
上。

具体而言,上述引导构件例如能够由具有气体吹出构件和气体抽吸构件的悬浮抽
吸引导构件构成。

根据本发明,是一种使用曝光辊对长条状工件连续曝光的直接曝光装置,同时,
在包含圆筒状部件的脱离位置的输送方向的前后一定范围内描绘图案,所以切线(切
平面)方向的平面区包含在曝光区中,能够使曝光图像的焦点对准区比以往的曝光辊
型的直接曝光装置宽。其结果是,能够实现要曝光的图案的细线条化。

此外,本发明进一步在圆筒部件的下游侧配置在长条状工件不与引导面接触的状
态下将该长条状工件支撑为平面状的引导构件,使曝光构件的针对长条状工件的曝光
区的至少一部分位于引导构件上,由此能够利用圆筒部件的高进给精度和引导构件对
工件的平面性保持,提高曝光图像的精度,并使描绘图案的线条变细,其中,该圆筒
部件在供给卷轴与卷绕卷轴之间,在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行
旋转。

附图说明

图1是示出本发明的直接曝光装置的整体结构的侧视图。

图2是其立体图。

图3是示出曝光单元的一例的立体图。

图4是说明长条状工件上的单位图案区域(对准标记)、对准相机以及曝光单元
之间的间隔例的展开图。

图5是示出曝光辊的详细情况的轴垂直剖视图。

图6是示出相对于长条状工件的曝光区的一例的图。

图7是悬浮抽吸单元单体的立体图。

图8是其分解立体图。

图9是示出曝光区中的基于光调制元件阵列的曝光状态的示意图。

图10是本发明的直接曝光装置的另一实施方式,是示出从图1的结构中去除下
游侧的曝光单元和悬浮抽吸引导单元后的实施方式的、与图1对应的侧视图。

图11是图10的实施方式的与图2对应的立体图。

标号说明

100:直接曝光装置;10:供给卷轴;11:卷绕卷轴;12、13、14:导辊(切线
方向引导单元);30A(30):曝光单元(曝光构件、第1曝光单元);30B(30):曝
光单元(曝光构件、第2曝光单元);36:DMD元件(光调制元件阵列);40:曝光
辊;41:多孔圆筒部件;41a:微细孔;42:中心固定体;42a:抽吸凹部;43:负压
源;44:控制器;45:线性刻度;46:线性传感器;50:对准相机(摄像构件);60:
悬浮抽吸引导单元(平面引导构件);61:导板;61a:引导面;61b:贯通孔(气体
吹出构件);61c:贯通孔(气体吸入构件);62:空气回路主体;62a:空气供给槽;
62b:空气抽吸槽;63:负压源;64:正压源;MA:对准标记;W:长条状工件;α:
抽吸区间。

具体实施方式

图1、图2是示出本发明的直接曝光装置100的一个实施方式的整体图。在直接
曝光装置100中,曝光辊40位于送出被卷绕的长条状工件(以下,简称作“工件”)
W的供给卷轴10与对工件W进行卷绕的卷绕卷轴11之间,在该曝光辊40的上方具
有沿工件W的输送方向隔开的一对曝光单元(曝光构件、曝光描绘部)30A和30B,
在其下方具有对准相机50。工件W由在正反的至少一个面上涂覆感光体而成的合成
树脂制柔软膜构成,工件W在由供给卷轴10送出后,经过导辊12、13到达曝光辊
40,进而经过导辊(切线方向引导单元)14后被卷绕卷轴11卷绕。在曝光辊40与
导辊14之间设置有位于工件W的下表面的悬浮抽吸引导单元(平面引导构件)60。

一对曝光单元30A、30B中的下游侧的曝光单元30B配置在悬浮抽吸引导单元
60上。虽然该结构有利于利用曝光辊40(圆筒部件)的高进给精度、和悬浮抽吸引
导单元60(平面引导构件)对工件W的平面性保持,提高曝光图像的精度,使描绘
图案的线条变细,但是,与以下特征无直接关系:使曝光辊40(圆筒部件)的切线
(切平面)方向的平面区包含在上游侧的曝光单元30A的曝光区中,从而能够使曝
光图像的焦点对准区比以往的曝光辊型的直接曝光装置宽。也就是说,能够省略下游
侧的曝光单元30B和悬浮抽吸引导单元60。太阳城集团该点,之后将使用附图进行叙述。

如图2、图5所示,曝光辊40具有:以轴心41X为中心,由未图示的驱动源进
行旋转驱动的多孔圆筒部件41;以及位于该多孔圆筒部件41内的中心固定体42,在
中心固定体42的周面的一部分,形成有抽吸凹部(槽)42a,该抽吸凹部(槽)42a
对形成于多孔圆筒部件41的周面的无数微细孔(抽吸孔)41a施加负压。经由负压
源43和控制器(调节器)44,对抽吸凹部42a施加负压。在对抽吸凹部42a供给了
负压的状态下对多孔圆筒部件41进行旋转驱动时,在形成有抽吸凹部42a的抽吸区
间α(图5)中,从多孔圆筒部件41的微细孔41a抽吸空气,结果工件W被吸附保
持于多孔圆筒部件41的周面并旋转。

确定抽吸凹部42a的抽吸区间α、以及导辊13和导辊14的位置,使得在从轴向
观察多孔圆筒部件41时,在多孔圆筒部件41的最高位置(最上位置)和最低位置(最
下位置)之间,工件W被多孔圆筒部件41抽吸并旋转。确定导辊13的位置,使得
工件W从与多孔圆筒部件41的径向垂直的最下方的水平的切线(切平面)方向进入
多孔圆筒部件41(在下方的水平切线(切平面)方向与径向的交点(相交线)处开
始抽吸保持),确定导辊14的位置,使得将工件W向与多孔圆筒部件41的径向垂直
的最上方的水平的切线(切平面)方向排出(在上方的水平切线(切平面)方向与径
向的交点(相交线)处结束抽吸保持)。即,抽吸凹部42a的抽吸区间α被设定在跨
越开始将工件吸附到多孔圆筒部件41的位置、和工件W从多孔圆筒部件41脱离的
位置的大致半周之间(大致180゜)。另外,工件W至少在抽吸区间α的两端部、即
抽吸开始位置和抽吸开放位置处被多孔圆筒部件41抽吸保持即可。

如图2示意性所示,在曝光辊40的多孔圆筒部件41的外周形成有线性刻度45,
在曝光辊40的外侧固定位置配设有线性传感器46,该线性传感器46读取该线性刻
度45来检测多孔圆筒部件41的绝对旋转位置。

悬浮抽吸引导单元60位于曝光辊40(多孔圆筒部件41)的出口(下游)侧,通
过气体的吹出和抽吸,以非接触的方式将长条工件W支撑为平面状,其工作原理自
身是众所周知的。

图7、图8示意性示出悬浮抽吸引导单元60,悬浮抽吸引导单元60具有导板61
和空气回路主体62。导板61具有在其平板状的引导面61a上开口的无数贯通孔(吹
出孔)61b和贯通孔(抽吸孔)61c。空气回路主体62呈梳齿状,并具有其梳齿彼此
错开地进行组合的空气供给槽62a和空气抽吸槽62b,空气供给槽62a与正压源64
连接,空气抽吸槽62b与负压源63连接。贯通孔61b以与空气供给槽62a连通的方
式呈矩阵状,贯通孔61c以与空气抽吸槽62b连通的方式呈矩阵状,并且空气供给槽
62a和空气抽吸槽62b被设置为使得吹出空气的贯通孔61b的列和抽吸空气的贯通孔
61c的列分别与工件W的行进方向平行。原本,吹出空气的贯通孔和抽吸空气的贯
通孔无需必须是列状,能够是绕中心的吹出孔(抽吸孔)配置多个抽吸孔(吹出孔)
的方式等。

该悬浮抽吸引导单元60经由正压源64向空气供给槽62a供给加压空气并从贯通
孔61b吹出,同时经由负压源63向空气抽吸槽62b施加负压并从贯通孔61c抽吸空
气,由此能够提高在引导面61a上通过的工件W的平面精度。

具体而言,以上的悬浮抽吸引导单元60能够使用PISCO有限公司制造的AFU1
(精密悬浮型)。

一对曝光单元30实质上为相同结构,一个曝光单元30A(第1曝光单元30)设
置在工件W从多孔圆筒部件41远离的位置附近,另一个曝光单元30B(第2曝光单
元30)位于悬浮抽吸引导单元60上。

图3示出曝光单元30(30A和30B)的具体例。曝光单元30具有光源部20,光
源部20由具有相同的内部结构的两个光源部20a和光源部20b构成。由于光源部20a
和光源部20b为相同结构,所以,以光源部20a为代表进行说明。

光源部20a由UV灯21、第1全反射镜22、聚光透镜23、第2全反射镜24、复
眼透镜25、光圈(未图示)构成。光源部20a具有UV灯21,从UV灯21射出从365nm
到440nm的各种波长共存的紫外光。

从UV灯21射出的紫外光通过椭圆反射镜26向天空方向照射,通过第1全反射
镜22将朝向改变为水平方向,通过聚光透镜23会聚,并通过第2全反射镜24将朝
向改变为地面方向(工件W的方向)。改变了朝向的紫外光成为经过复眼透镜25和
光圈而被分支为四个光束。光束进一步经由8个第1投影透镜33和8个反射镜34,
入射到8个DMD(DigitalMicro-mirrorDevice:数字微镜设备)元件(光调制元件阵
列)36而成为进行了控制的光束。该进行了控制的光束穿过第2投影透镜组37,从
而被调整要投影的曝光描绘的倍率,并被照射到工件W。也就是说,作为描绘装置
的直接曝光装置100按照预先收纳有期望的曝光像的描绘数据,控制光源部20a和光
源部20b的紫外光。

曝光单元30A的曝光区如下确定。如上所述,工件W在从多孔圆筒部件41脱
离后,在悬浮抽吸引导单元60上移动,在多孔圆筒部件41的最上部沿水平切线方向
移动(从多孔圆筒部件41脱离的工件W通过悬浮抽吸引导单元60,将脱离角度调
整为水平)。曝光单元30A的曝光区AE(图2、图3、图6)严格来说不是单纯的矩
形,但是,这里简单地通过矩形表现,该矩形将与工件W的输送方向垂直的方向(工
件W的宽度方向)作为长度方向。而且,如图6所示,对于该曝光范围Y,在以多
孔圆筒部件41的轴心41X与切线方向的交点(相交线)S为基准时,将下游侧(导
辊14侧)的曝光范围Y2设定为比相交线S的上游侧(多孔圆筒部件41的圆筒面侧)
的曝光范围Y1大(Y1<Y2)。

在悬浮抽吸引导单元60上,对工件W进行曝光的曝光单元30B针对通过悬浮抽
吸引导单元60而提高(维持)了平面性的工件W,在曝光区AE(图2、图3、图6)
中进行曝光。该曝光单元30B的曝光范围Y可以与曝光单元30A的曝光范围Y相同,
也可以不同。与曝光单元30A的曝光区同样,曝光单元30B的曝光区AE(图2、图
3、图6)严格来说不是单纯的矩形,但是,这里简单地通过矩形表现,该矩形将与
工件W的输送方向垂直的方向(工件W的宽度方向)作为长度方向。曝光单元30A
和30B对工件W进行曝光的曝光区AE位于同一平面。

图9示意性地示出两个曝光区AE中的曝光单元30A和30B的曝光状态。在图9
中,由双点划线表示的圆C为曝光单元30A和30B的图3所示的一个第1投影透镜
33和反射镜34所占据的光学系统的大小,其中存在利用粗线的矩形描绘出的DMD
(DigitalMicro-mirrorDevice:数字微镜设备)元件36的实际曝光区R。在图示例中,
在一个曝光区AE内存在四个实际曝光区R,将包含这四个实际曝光区R的与工件W
的输送方向垂直的方向的矩形区设为AE。另外,曝光光束在图3中,分支为八个光
学系统,而在图9的例子中,分支为四个光学系统。

在该实施方式中,具备一对在工件W的宽度方向隔开的对准相机50。该对准相
机50对预先形成在工件W上的对准标记MA(图4)进行拍摄从而确定(修正)曝
光单元30A和30B的描绘坐标系。对准相机50用于在工件W相对于曝光辊40(多
孔圆筒部件41)的吸附开始位置处拍摄对准标记MA,吸附开始位置等同于拍摄位置。
而且,对准相机50和曝光单元30A隔着曝光辊40相对配置,并且彼此的光轴隔着
曝光辊40,位于相反的一侧的大致铅垂位置。这里的相对是指对准相机50的拍摄方
向和曝光单元30A的曝光光射出方向彼此面对,但是,这时各自的光轴无需必须处
于同一轴线上,也可以在基板输送方向上偏移。对准相机50和曝光单元30A优选配
置成其中至少一个的光轴严格朝向铅垂方向。通过这样配置对准相机50和曝光单元
30A,能够将对准相机50和曝光单元30A的光学系统保持为最稳定的状态,能够获
得最优的光学性能。

图4示出工件W上的单位图案区域AP和对准标记MA、对准相机50以及曝光
单元30A和30B的两个曝光区AE之间的位置关系。在图示例子中,相对于一个单
位图案区域AP(进行一次对准和描绘的范围),形成有4个(2个×2列)对准标记
MA,对准相机50能够进行位置调整,使得在相机视野50a的中心处拍摄到对准标记
MA。

另外,对准标记MA的个数和配置根据要描绘的图案适当进行设定,对准相机
50的个数和配置当然也可以与此相应地被确定。

上述结构的该直接曝光装置100如下进行动作。供给卷轴10、曝光辊40、卷绕
卷轴11通过伺服系统被准确地进行同步旋转控制,供给卷轴10所卷绕的工件W经
过导辊12、13、曝光辊40、悬浮抽吸引导单元60、导辊14,被卷绕到卷绕卷轴11。
通过线性刻度45、线性传感器46准确地检测曝光辊40的多孔圆筒部件41的旋转位
置。

当在该工件W的输送移动中,经由负压源43和控制器(调节器)44对抽吸凹
部42a施加负压时,工件W在抽吸区间α处被吸附在多孔圆筒部件41的周面上。即,
从多孔圆筒部件41的最下方的吸附开始位置到最上方的脱离位置之间,工件W被保
持在多孔圆筒部件41的周面上并在圆筒面上移动。吸附开始位置同时是对准相机50
拍摄对准标记MA的位置。工件W的吸附优选以在拍摄位置处必定开始的方式,从
比拍摄位置稍微靠上游侧(供给侧)的位置起开始。

此外,在工件W的输送移动中,经由正压源64向悬浮抽吸引导单元60的空气
供给槽62a供给加压空气并从导板61的贯通孔61b吹出,同时经由负压源63向空气
抽吸槽62b施加负压并从贯通孔61c抽吸空气。通过该空气的吹出抽吸,在引导面
61a上通过的工件W的平面精度提高。

而且,当工件W行进,且通过对准相机50拍摄一个单位图案区域AP的4个
(2个×2列)对准标记MA时,确定该单位图案区域AP的坐标系。当一个单位图案
区域AP的对准标记MA的拍摄结束时,连续开始下一个单位图案区域AP的对准标
记MA的拍摄,确定新的坐标系。

当单位图案区域AP的四个对准标记MA的拍摄结束时,对准测量部计算测量出
的单位图案区域AP和所设计的单位图案区域AP的位置以及尺度误差(对准)。曝光
控制部根据上述误差,对描绘数据进行坐标转换,生成曝光单元30A和30B的校正
描绘数据。

当单位图案区域AP的前端到达曝光单元30A时,曝光控制部按照校正描绘数据,
对曝光单元30A的DMD元件36进行调制,向工件W上照射图案光,在工件W的
感光剂层上形成图案。接着,当单位图案区域AP的规定位置到达曝光单元30B时,
同样,曝光控制部按照校正描绘数据,对曝光单元30B的DMD元件36进行调制,
向工件W上照射图案光,在工件W的感光剂层上形成图案。通过已知的多重曝光方
法进行该图案形成。

只要工件W在曝光单元30A的曝光位置处不从多孔圆筒部件41脱离(而被保
持),就能在曝光位置、或者比曝光位置稍微靠上游侧(供给侧)的位置处解除工件
W向多孔圆筒部件41的吸附。

在以上针对工件W的曝光动作中,被多孔圆筒部件41吸附并移动的工件W能
够较高保持其进给精度,并能够通过线性刻度45和线性传感器46准确地检测其位置。
而且,由于在以高进给精度送出的工件W从多孔圆筒部件41脱离的位置附近执行利
用曝光单元30A的曝光,所以能够实现高描绘精度。此外,由于能够对以高进给精
度送出并通过悬浮抽吸引导单元60维持高平面性的工件W进行利用曝光单元30B
的曝光,所以,同样能够实现高描绘精度。

除此以外,在图示实施方式的曝光单元30A进行的曝光中能够获得下述优点。
被多孔圆筒部件41抽吸的工件W呈曲面,但是,如上所述,多孔圆筒部件41上在
面精度(面的平滑性)和工件进给精度的方面优异。因此,在曝光区AE中包含面精
度和进给精度优异的多孔圆筒部件41上的曝光区(范围Y1)。另一方面,虽然在比
相交线S靠下游侧的曝光区(范围Y2)中,假设工件W为平面,但是,实际上由于
从多孔圆筒部件41脱离,所以随着从多孔圆筒部件41远离,平面精度误差(曝光单
元30A的理想焦点面与曝光区AE的偏差)处于扩大的趋势。所以,使曝光区AE跨
越相交线S的上游侧和下游侧。此外,将相交线S的下游侧的曝光范围Y2设定为比
从上游侧的曝光范围Y1大,由此能够防止实际的焦点深度(从光学系统的焦点深度
中除去曝光区AE的工件W的平面精度误差而得到)变浅,实现描绘图案的细线条
化。即,通过使下游侧的平面上的曝光范围Y2比曲面上的曝光范围Y1大,能够容
易地在曝光单元30A的焦点深度内描绘图案。具体而言,优选将下游侧的范围设定
为70%以上,更优选设定为80%以上。具体而言,在曝光范围Y为10mm时,上游
侧的范围为Y1=2~3mm,下游侧的范围为Y2=8~7mm。

在曝光单元30A和30B进行曝光动作的期间,并行地执行下一个单位图案区域
AP的对准标记摄像步骤和数据校正步骤。所以,当单位图案区域AP的曝光结束时,
曝光单元30能够连续开始下一个单位图案区域AP的曝光。

为了并行地进行对准标记摄像步骤和数据校正步骤,如图4所示,考虑到单位图
案区域AP的大小,使曝光单元30A、30B和对准相机50以单位图案区域AP的四个
对准标记MA处于两者之间的方式(以两者之间的距离比单位图案区域AP长的方
式),隔开了其位置。本实施方式的曝光单元30A和对准相机50隔着曝光辊40位于
上下,所以即使将曝光辊40小型化,也能够确保其距离。此外,曝光单元30A和对
准相机50隔着曝光辊40沿铅垂方向并列配置,所以能够最高效地利用辊,并能够提
高工件W的位置对准精度和生产率。

在以上实施方式中,将第1曝光单元30A设置在工件从多孔圆筒部件41脱离的
位置附近,将第2曝光单元30B设置在配置于多孔圆筒部件41的下游的悬浮抽吸引
导单元60上。与此相对,图5是使单一的曝光单元30的曝光区AE跨越工件从多孔
圆筒部件41脱离的位置和悬浮抽吸引导单元60上的位置的实施方式。这样,能够通
过使曝光单元30对工件W进行曝光的曝光区的至少一部分位于悬浮抽吸引导单元
60上,确保了曝光区的平面性,并且能够通过使用曝光辊的高工件进给精度,实现
高描绘精度。

并且,如上所述,能够省略以上实施方式中的一对曝光单元30A、30B中的下游
侧的曝光单元30B和悬浮抽吸引导单元60。图10、图11示出在图1、图2中省略了
曝光单元30B和悬浮抽吸引导单元60的实施方式。在该实施方式中,导辊14构成
工件W的切线方向引导单元。即,工件W在从多孔圆筒部件41脱离后,随着导辊
14,在多孔圆筒部件41的最上部沿水平切线(切平面)方向移动(从多孔圆筒部件
41脱离的工件W通过导辊(引导单元)14将脱离角度调整为水平)。而且,根据该
实施方式,能够使曝光辊40(圆筒部件)的切线(切平面)方向的平面区包含在上
游侧的曝光单元30A的曝光区中,并能够使曝光图像的焦点对准区比以往的曝光辊
型的直接曝光装置宽。该特征为第1实施方式也具有的特征。另外,在图10、图11
的实施方式中,在图3、图4、图6和图9中描绘了一对的曝光区AE仅为基于曝光
单元30A的一个曝光区AE。

根据该图10、图11的实施方式,能够抑制曝光辊40的直径,同时高精度地进
行工件W的对准和描绘位置的校正,并且能够使曝光图像的焦点对准区比以往的曝
光辊型的直接曝光装置宽。其结果是,可获得比以往的直接曝光装置节省空间且能够
进行高精度的处理的曝光装置。

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