太阳城集团

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真空设备多载具同时多工处理工艺.pdf

摘要
申请专利号:

CN201410158181.0

申请日:

2014.04.18

公开号:

CN105018894A

公开日:

2015.11.04

当前法律状态:

撤回

有效性:

无权

法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):C23C 14/56申请公布日:20151104|||实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20140418|||公开
IPC分类号: C23C14/56; C23C16/54; C23F1/08 主分类号: C23C14/56
申请人: 友威科技股份有限公司
发明人: 林忠炫; 赖青华
地址: 中国台湾桃园县
优先权:
专利代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司11127 代理人: 贾磊
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法律状态
申请(专利)号:

太阳城集团CN201410158181.0

授权太阳城集团号:

||||||

法律状态太阳城集团日:

2018.07.10|||2015.12.02|||2015.11.04

法律状态类型:

发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

摘要

本发明提供一种真空设备多载具同时多工处理工艺,其制备一具有表面处理腔的连续式真空工艺设备,并以至少两素材依序进入表面处理腔内,较早进入该表面处理腔的素材恒比较晚进入该表面处理腔的素材更靠近该后段工艺腔,且各素材同太阳城集团在该表面处理腔内进行来回且个别的移动,最后各素材再依序离开连续式真空工艺设备,便可在素材上得到任意组合的薄膜结构,通过本发明各素材同太阳城集团可在该表面处理腔内进行来回且个别的移动,可根据不同的薄膜结构设计各素材在表面处理腔内的移动路径,而得到任意组合的薄膜结构,故可利用较低造价的设备得到任意组合的薄膜结构,且同太阳城集团可有两片以上的素材在表面处理腔内移动,可有效减少工时、提高产能。

权利要求书

权利要求书
1.  一种真空设备多载具同时多工处理工艺,其特征在于,包括有:
制备两片以上的素材;
制备一连续式真空工艺设备,该连续式真空工艺设备具有依序连接的一前段工艺腔、一表面处理腔以及一后段工艺腔,其中,该表面处理腔具有依序连接的一工艺前缓冲腔、一第一工艺腔、一第二工艺腔以及一工艺后缓冲腔;以及
移动素材,将各所述素材由该前段工艺腔处依序进入该连续式真空工艺设备内,并且较早进入该表面处理腔的素材恒比较晚进入该表面处理腔的素材更靠近该后段工艺腔,其中,各素材同太阳城集团在该表面处理腔内进行来回且分别的移动,其中,当各所述素材通过该第一工艺腔与该第二工艺腔时进行表面处理,最后各所述素材依序由该后段工艺腔处离开该连续式真空工艺设备。

2.  如权利要求1所述的真空设备多载具同时多工处理工艺,其特征在于,于所述制备两片以上的素材的步骤中,总共置备两片素材,且分别定义为第一素材与第二素材;
于所述制备一连续式真空工艺设备步骤中,在该表面处理腔的该第二工艺腔与该工艺后缓冲腔之间进一步置备一第三工艺腔,并且于该第一工艺腔与该第三工艺腔内进行相同的表面处理;
于所述移动素材的步骤中:
该第一素材于该前段工艺腔进入该表面处理腔,且移动于该表面处理腔内的顺序依序为工艺前缓冲腔、工艺后缓冲腔、工艺后缓冲腔、工艺后缓冲腔、第一工艺腔、工艺后缓冲腔、第一工艺腔、第二工艺腔、工艺后缓冲腔、第二工艺腔以及工艺后缓冲腔,最后进入后段工艺腔,并且由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备;以及
当第一素材第一次位于工艺后缓冲腔内时,第二素材位于前段工艺腔内,当第一素材第二次位于工艺后缓冲腔内,第二素材才进入表面处理腔内,并且第二素材于表面处理腔内的移动顺序依序为工艺前缓冲腔、第三工艺腔、工艺前缓冲腔、第三工艺腔、工艺前缓冲腔、工艺前缓冲腔、第二工艺腔、工艺前缓冲腔、第二工艺腔,并且当第一素材进入后段工艺腔时,第二素材进入工艺后缓冲腔,当第一素材离开连续式真空工艺设备时,第二素材进入后段工艺腔,最后由后段工艺腔离开连续式真空工艺 设备。

3.  如权利要求1所述的真空设备多载具同时多工处理工艺,其特征在于,于所述制备两片以上的素材的步骤中,总共置备两片素材,且分别定义为第一素材与第二素材;
于所述制备一连续式真空工艺设备步骤中,在表面处理腔的第二工艺腔与工艺后缓冲腔之间进一步置备一第三工艺腔,并且于第一工艺腔与第三工艺腔内进行相同的表面处理;
于所述移动素材的步骤中:
第一素材于前段工艺腔进入表面处理腔,且移动于表面处理腔内的顺序依序为工艺前缓冲腔、第二工艺腔、工艺后缓冲腔、第三工艺腔、工艺后缓冲腔、第二工艺腔、工艺后缓冲腔,最后进入后段工艺腔,并且由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备;以及
当第一素材第一次位于第二工艺腔内时,第二素材位于前段工艺腔内,当第一素材第一次位于工艺后缓冲腔内,第二素材才进入表面处理腔内,并且第二素材于表面处理腔内的移动顺序依序为第二工艺腔、工艺前缓冲腔、第一工艺腔、工艺前缓冲腔、第二工艺腔,并且当第一素材进入后段工艺腔时,第二素材进入工艺后缓冲腔,当第一素材离开连续式真空工艺设备时,第二素材进入后段工艺腔,最后由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备。

4.  如权利要求1所述的真空设备多载具同时多工处理工艺,其特征在于,于所述制备两片以上的素材的步骤中,总共置备两片素材,且分别定义为第一素材与第二素材;
于所述制备一连续式真空工艺设备步骤中,在表面处理腔的第二工艺腔与工艺后缓冲腔之间进一步置备一第三工艺腔,并且于第一工艺腔与第三工艺腔内进行相同的表面处理;
于所述移动素材的步骤中:
第一素材于前段工艺腔进入表面处理腔,且移动于表面处理腔内的顺序依序为工艺前缓冲腔、第一工艺腔、工艺后缓冲腔、第二工艺腔、工艺后缓冲腔、第三工艺腔、工艺后缓冲腔,最后进入后段工艺腔,并且由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备;以及
当第一素材第一次位于第一工艺腔内时,第二素材位于前段工艺腔内,当第一素材第一次位于工艺后缓冲腔内,第二素材才进入表面处理腔内,并且第二素材于表面处理腔内的移动顺序依序为第一工艺腔、工艺前缓冲腔、第二工艺腔、工艺前缓冲腔、第一工艺腔,并且当第一素材进入后段工艺腔时,第二素材进入工艺后缓冲腔,当第一素材离开连续式真空工艺设备时,第二素材进入后段工艺腔,最后由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备。

说明书

说明书真空设备多载具同时多工处理工艺
技术领域
本发明涉及一种表面处理真空工艺,尤指一种真空设备多载具同时多工处理工艺。
背景技术
一般真空设备用于镀膜、刻蚀、表面处理等加工,其应用的领域有半导体、光电、电机、电子、民生用品等产业,过程中都需经过多道工艺处理以便形成不同材质的膜层结构。为了达到高品质、高产能且低成本的操作目标,现有真空设备多为连续式真空设备。
现有的连续式真空工艺设备40的结构如图7所示,包括依序连接的一前段工艺腔41、一工艺前缓冲腔42、一工艺腔43、一工艺后缓冲腔44以及一后段工艺腔45,素材由该前段工艺腔41处被送往该后段工艺腔45的方向,其中间经过该工艺腔43时进行表面处理的工艺,如:镀膜、刻蚀等表面处理,而该工艺腔43又可根据不同的表面处理工艺程序而设计成多个相连接的工艺腔,操作过程中,该前段工艺腔41以及该后段工艺腔45可用于抽真空或是破真空,而该工艺前缓冲腔42至该工艺后缓冲腔44的部分仅能进行抽真空。
以该连续式真空工艺设备40进行单一素材的单工工艺请参阅图7、图8所示,该连续式真空工艺设备40设有两个工艺腔43(分别为第一工艺腔43A与第二工艺腔43B),纵向方向显示为太阳城集团方向,首先,第一素材A1位于该前段工艺腔41处,并随着太阳城集团的演进而往该后段工艺腔45的方向行进,当第一素材A1完成工艺而离开该后段工艺腔45后,第二素材A2才由该前段工艺腔41处进入该工艺前缓冲腔42内,而第一素材A1未离开该后段工艺腔45之前,第二素材A2一直位于该前段工艺腔41等待,第三素材A3的行程同第一素材A1与第二素材A2,完成图8所示的工艺的成品为三层的层状结构:底层为素材,其上分别为于第一工艺腔43A与第二工艺腔43B处完成的薄膜,因此,通过素材进行单向移动的方式,便可得到依序堆叠 的薄膜,具有工艺单一、产能快等优点,然而,由于需要增加工艺腔43的数量才可提升产能,故却有增加设备购置成本占地空间等缺点。
另外,以该连续式真空工艺设备40进行单一素材的多工工艺请参阅图9所示,该连续式真空工艺设备40设有两个工艺腔43(分别为第一工艺腔43A与第二工艺腔43B),纵向方向显示为太阳城集团方向,首先,第一素材A1位于该前段工艺腔41处,并随着太阳城集团的演进往该工艺后缓冲腔44行进、再返回该工艺前缓冲腔42、再前往该工艺后缓冲腔44,最后由该后段工艺腔45离开该连续式真空工艺设备40,在第一素材A1尚未离开该连续式真空工艺设备50之前,第二素材A2一直在该前段工艺腔41内等待,而第二素材A2与第三素材A3的行程同第一素材A1,将于该第一工艺腔处43A与该第二工艺腔43B处完成的薄膜定义为第一薄膜与第二薄膜,则完成图9所示的工艺的成品为七层的层状结构:底层为素材,其上依序为第一薄膜、第二薄膜、第二薄膜、第一薄膜、第一薄膜以及第二薄膜,因此,通过素材进行来回的移动,便可得到任意组合的薄膜结构,对于任意组合的薄膜结构而言具有设备造价较低的优点,然而,却需要较长的工时,而容易导致产能变慢,因此,所述的单一素材的单工工艺与多工工艺的缺点,实有改善的必要。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种真空设备多载具同时多工处理工艺,以解决现有技术中用于连续式真空工艺设备的工艺的缺点。
本发明的技术方案是提供一种真空设备多载具同时多工处理工艺,包括有:
制备两片以上的素材;
制备一连续式真空工艺设备:该连续式真空工艺设备具有依序连接的一前段工艺腔、一表面处理腔以及一后段工艺腔,其中,该表面处理腔具有依序连接的一工艺前缓冲腔、一第一工艺腔、一第二工艺腔以及一工艺后缓冲腔;以及
移动素材:将各素材由该前段工艺腔处依序进入该连续式真空工艺设备内,并且较早进入该表面处理腔的素材恒比较晚进入该表面处理腔的素材更靠近该后段工艺腔,其中,各素材同太阳城集团在该表面处理腔内进行来回且个别的移动,其中,当各素材通过该第一工艺腔与该第二工艺腔时进行表面处理,最后各素材依序由该后段工艺腔处离开该连续式真空工艺设备。
所述的真空设备多载具同时多工处理工艺,其中
于制备两片以上的素材的步骤中,总共置备两片素材,且分别定义为第一素材与第二素材;
于制备一连续式真空工艺设备步骤中,在表面处理腔的第二工艺腔与工艺后缓冲腔之间进一步置备一第三工艺腔,并且于第一工艺腔与第三工艺腔内进行的相同的表面处理;
于移动素材的步骤中:
第一素材于前段工艺腔进入表面处理腔,且移动于表面处理腔内的顺序依序为工艺前缓冲腔、工艺后缓冲腔、工艺后缓冲腔、工艺后缓冲腔、第一工艺腔、工艺后缓冲腔、第一工艺腔、第二工艺腔、工艺后缓冲腔、第二工艺腔以及工艺后缓冲腔,最后进入后段工艺腔,并且由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备;以及
当第一素材第一次位于工艺后缓冲腔内时,第二素材位于前段工艺腔内,当第一素材第二次位于工艺后缓冲腔内,第二素材才进入表面处理腔内,并且第二素材于表面处理腔内的移动顺序依序为工艺前缓冲腔、第三工艺腔、工艺前缓冲腔、第三工艺腔、工艺前缓冲腔、工艺前缓冲腔、第二工艺腔、工艺前缓冲腔、第二工艺腔,并且当第一素材进入后段工艺腔时,第二素材进入工艺后缓冲腔,当第一素材离开连续式真空工艺设备时,第二素材进入后段工艺腔,最后由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备。
所述的真空设备多载具同时多工处理工艺,其中
于制备两片以上的素材的步骤中,总共置备两片素材,且分别定义为第一素材与第二素材;
于制备一连续式真空工艺设备步骤中,在表面处理腔的第二工艺腔与工艺后缓冲腔之间进一步置备一第三工艺腔,并且于第一工艺腔与第三工艺腔内进行的为相同的表面处理;
于移动素材的步骤中:
第一素材于前段工艺腔进入表面处理腔,且移动于表面处理腔内的顺序依序为工艺前缓冲腔、第二工艺腔、工艺后缓冲腔、第三工艺腔、工艺后缓冲腔、第二工艺腔、工艺后缓冲腔,最后进入后段工艺腔,并且由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备;以及
当第一素材第一次位于第二工艺腔内时,第二素材位于前段工艺腔内,当第一素材第一次位于工艺后缓冲腔内,第二素材才进入表面处理腔内,并且第二素材于表面处理腔内的移动顺序依序为第二工艺腔、工艺前缓冲腔、第一工艺腔、工艺前缓冲腔、第二工艺腔,并且当第一素材进入后段工艺腔时,第二素材进入工艺后缓冲腔,当第一素材离开连续式真空工艺设备时,第二素材进入后段工艺腔,最后由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备。
本发明一实施例中,所述的真空设备多载具同时多工处理工艺,其中
于制备两片以上的素材的步骤中,总共置备两片素材,且分别定义为第一素材与第二素材;
于制备一连续式真空工艺设备步骤中,在表面处理腔的第二工艺腔与工艺后缓冲腔之间进一步置备一第三工艺腔,并且于第一工艺腔与第三工艺腔内进行的为相同的表面处理;
于移动素材的步骤中:
第一素材于前段工艺腔进入表面处理腔,且移动于表面处理腔内的顺序依序为工艺前缓冲腔、第一工艺腔、工艺后缓冲腔、第二工艺腔、工艺后缓冲腔、第三工艺腔、工艺后缓冲腔,最后进入后段工艺腔,并且由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备;以及
当第一素材第一次位于第一工艺腔内时,第二素材位于前段工艺腔内,当第一素材第一次位于工艺后缓冲腔内,第二素材才进入表面处理腔内,并且第二素材于表面处理腔内的移动顺序依序为第一工艺腔、工艺前缓冲腔、第二工艺腔、工艺前缓冲腔、第一工艺腔,并且当第一素材进入后段工艺腔时,第二素材进入工艺后缓冲腔,当第一素材离开连续式真空工艺设备时,第二素材进入后段工艺腔,最后由后段工艺腔离开连续式真空工艺设备。
通过上述的技术手段,本发明可达到的功效增进有:各素材同太阳城集团可在该表面处理腔内进行来回且个别的移动,可根据不同的薄膜结构设计各素材在表面处理腔内的移动路径,而得到任意组合的薄膜结构,故可利用较低造价的设备得到任意组合的薄膜结构,且同太阳城集团可有两片以上的素材在表面处理腔内移动,可有效减少工时、提高产能。
附图说明
图1为本发明第一较佳实施例的工艺流程示意图。
图2为本发明第一较佳实施例工艺的成品示意图。
图3为本发明第二较佳实施例的工艺流程示意图。
图4为本发明第二较佳实施例工艺的成品示意图。
图5为本发明第三较佳实施例的工艺流程示意图。
图6为本发明第三较佳实施例工艺的成品示意图。
图7为现有技术中连续式真空工艺设备的结构示意图。
图8为现有技术中用于连续式真空工艺设备的单素材单工工艺流程示意图。
图9为现有技术中用于连续式真空工艺设备的单素材多工工艺流程示意图。
主要元件符号说明
10 连续式真空工艺设备                    11 前段工艺腔
12 表面处理腔                            13 后段工艺腔
121 工艺前缓冲腔                         122A 第一工艺腔
122B 第二工艺腔                          122C 第三工艺腔
123 工艺后缓冲腔                         T1、T1’、T1” 第一太阳城集团
T2、T2’、T2” 第二太阳城集团                  T3、T3’、T3” 第三太阳城集团
T4、T4’、T4” 第四太阳城集团                  T5、T5’、T5” 第五太阳城集团
T6、T6’、T6” 第六太阳城集团                  T7、T7’、T7” 第七太阳城集团
T8、T8’、T8” 第八太阳城集团                  T9、T9’、T9” 第九太阳城集团
T10、T10’、T10” 第十太阳城集团               T11、T11’、T11” 第十一太阳城集团
T12 第十二太阳城集团                           T13 第十三太阳城集团
T14 第十四太阳城集团                           T15 第十五太阳城集团
S1、S1’、S1” 第一素材                  S2、S2’、S2” 第二素材
S3、S3’、S3” 第三素材                  S、S’、S” 素材
F1、F1’、F1” 第一薄膜                  F2、F2’、F2” 第二薄膜
40 连续式真空工艺设备                    41 前段工艺腔
42 工艺前缓冲腔                          43 工艺腔
43A 第一工艺腔                           43B 第二工艺腔
44 工艺后缓冲腔                          45 后段工艺腔
A1 第一素材                              A2 第二素材
A3 第三素材
具体实施方式
为能详细了解本发明的技术特征及实用功效,并可依照说明书的内容来实现,兹进一步以如图式所示的较佳实施例,详细说明如后:
请参阅图1所示,本发明提供的真空设备多载具同时多工处理工艺应用于一连续式真空工艺设备10,该连续式真空工艺设备10包括依序连接的一前段工艺腔11、一表面处理腔12以及一后段工艺腔13,其中,该表面处理腔12包括依序连接的一工艺前缓冲腔121、一第一工艺腔122A、一第二工艺腔122B、一第三工艺腔122C以及一工艺后缓冲腔123,于该表面处理腔12内为进行表面处理加工处,或是,表面处理腔12可为多节串接,以符合工艺的需要,另外,本发明不局限该表面处理腔12内各工艺腔的数量,只要至少设有两个工艺腔即可实施。
在操作过程中,主要是该表面处理腔12工艺流程与现有用于连续式真空工艺设备的工艺不同。该表面处理腔12内仅能进行抽真空,而该前段工艺腔11与该后段工艺腔13可进行抽真空或是破真空。另外,该第一工艺腔122A与该第三工艺腔122C内进行的工艺为相同,亦即通过该第一工艺腔122A与该第三工艺腔122C可得到结构相同的薄膜,而为了区别则分别以第一与第三表示。另外,素材由该前段工艺腔11进入该连续式真空工艺设备10,由该后段工艺腔13离开该连续式真空工艺设备10。
该真空设备多载具同时多工处理工艺的第一较佳实施例,以下依照太阳城集团行进方向进行下述说明:
1、第一太阳城集团T1:第一素材S1进入该前段工艺腔11内;
2、第二太阳城集团T2:第一素材S1进入该工艺前缓冲腔121内进行前处理;
3、第三太阳城集团T3:第二素材S2进入该前段工艺腔11内,同时第一素材S1进入该工艺后缓冲腔123内等待;
4、第四太阳城集团T4:第二素材S2进入该工艺前缓冲腔121内进行前处理,同时第一素材S1仍在该工艺后缓冲腔123内等待;
5、第五太阳城集团T5:第二素材S2进入该第三工艺腔122C内进行表面处理,同时第一素材S1仍在该工艺后缓冲腔123内等待;
6、第六太阳城集团T6:第二素材S2进入该工艺前缓冲腔121内进行后处理,同时第一素材S1进入第一工艺腔122A内进行表面处理;
7、第七太阳城集团T7:第一素材S1进入该工艺后缓冲腔123进行后处理,同时第二素材S2进入第三工艺腔122C内进行表面处理;
8、第八太阳城集团T8:第二素材S2进入该工艺前缓冲腔121进行后处理,同时第一素材S1进入该第一工艺腔122A内进行表面处理;
9、第九太阳城集团T9:第二素材S2在该工艺前缓冲腔121内等待,第一素材S1进入该第二工艺腔122B内进行表面处理;
10、第十太阳城集团T10:第一素材S1进入该工艺后缓冲腔123进行后处理,第二素材S2进入该第二工艺腔122B内进行表面处理;
11、第十一太阳城集团T11:第二素材S2进入该工艺前缓冲腔121进行后处理,第一素材S1进入该第二工艺腔122B内进行表面处理;
12、第十二太阳城集团T12:第一素材S1进入该工艺后缓冲腔123进行后处理,第二素材S2进入该第二工艺腔122B内进行表面处理;
13、第十三太阳城集团T13:第一素材S1进入该后段工艺腔13,第二素材S2进入该工艺后缓冲腔123进行后处理;
14、第十四太阳城集团T14:第一素材S1离开该连续式真空工艺设备10,第二素材S2进入该后段工艺腔13;
15、第十五太阳城集团T15:第二素材S2离开该连续式真空工艺设备10,第三素材S3进入该前段工艺腔11。
加工完成的成品如图2所示,于一素材S上依序堆叠有一第一薄膜F1、一第一薄膜F1、一第二薄膜F2以及一第二薄膜F2。而第三素材S3、第四素材…等后续进入该连续式真空工艺设备10的素材,由于工艺流程同于第一素材S1与第二素材S2,故在此不再赘述。
该真空设备多载具同时多工处理工艺的第二较佳实施例请参阅图3所示,以下依照太阳城集团行进方向进行下述说明:
1、第一太阳城集团T1’:第一素材S1’进入该前段工艺腔内;
2、第二太阳城集团T2’:第一素材S1’进入该工艺前缓冲腔121内进行前处理;
3、第三太阳城集团T3’:第一素材S1’进入该第二工艺腔122B内进行表面处理,同时第二素材S2’进入该前段工艺腔11内;
4、第四太阳城集团T4’:第一素材S1’进入该工艺后缓冲腔123内进行后处理,同时第二素材S2’进入该第二工艺腔122B内进行表面处理;
5、第五太阳城集团T5’:第二素材S2’进入该工艺前缓冲腔121内进行后处理,同时该第一素材S1’进入该第三工艺腔122C内进行表面处理;
6、第六太阳城集团T6’:第二素材S2’进入该第一工艺腔122A内进行表面处理,同时第一素材S1’进入该工艺后缓冲腔123内进行后处理;
7、第七太阳城集团T7’:第二素材S2’进入该工艺前缓冲腔121内进行后处理,同时第一素材S1’进入该第二工艺腔122B内进行表面处理;
8、第八太阳城集团T8’:第一素材S1’进入该工艺后缓冲腔123内进行后处理,同时第二素材S2’进入该第二工艺腔122B内进行表面处理;
9、第九太阳城集团T9’:第二素材S2’进入该工艺后缓冲腔123内进行后处理,同时第一素材S1’进入该后段工艺腔13;
10、第十太阳城集团T10’:第一素材S1’离开该连续式真空工艺设备10,同时第二素材S2’进入该后段工艺腔13;
11、第十一太阳城集团T11’:第二素材S2’离开该连续式真空工艺设备10,同时第三素材S3’进入该前段工艺腔11。
加工完成的成品如图4所示,于一素材S’上依序堆叠有第二薄膜F2’、第一薄膜F1’以及第二薄膜F2’。而第三素材S3’、第四素材…等后续进入该连续式真空工艺设备的素材,由于工艺流程同于第一素材S1’与第二素材S2’,故在此不再赘述。
该真空设备多载具同时多工处理工艺的第三较佳实施例请参阅图5所示,以下依照太阳城集团行进方向进行下述说明:
1、第一太阳城集团T1”:第一素材S1”进入该前段工艺腔11内;
2、第二太阳城集团T2”:第一素材S1”进入该工艺前缓冲腔121内进行前处理;
3、第三太阳城集团T3”:第一素材S1”进入该第一工艺腔122A内进行表面处理,同时第二素材S2”进入该前段工艺腔11内;
4、第四太阳城集团T4”:第一素材S1”进入该工艺后缓冲腔123内进行后处理,同时第 二素材S2”进入该第一工艺腔122A内进行表面处理;
5、第五太阳城集团T5”:第二素材S2”进入该工艺前缓冲腔121内进行后处理,同时该第一素材S1”进入该第二工艺腔122B内进行表面处理;
6、第六太阳城集团T6”:第二素材S2”进入该第二工艺腔122B内进行表面处理,同时第一素材S1”进入该工艺后缓冲腔123内进行后处理;
7、第七太阳城集团T7”:第二素材S2”进入该工艺前缓冲腔121内进行后处理,同时第一素材S1”进入该第三工艺腔122C内进行表面处理;
8、第八太阳城集团T8”:第一素材S1”进入该工艺后缓冲腔123内进行后处理,同时第二素材S2”进入该第一工艺腔122A内进行表面处理;
9、第九太阳城集团T9”:第二素材S2”进入该工艺后缓冲腔123内进行后处理,同时第一素材S1”进入该后段工艺腔13;
10、第十太阳城集团T10”:第一素材S1”离开该连续式真空工艺设备,同时第二素材S2”进入该后段工艺腔13;
11、第十一太阳城集团T11”:第二素材S2”离开该连续式真空工艺设备,同时第三素材S3”进入该前段工艺腔11。
加工完成的成品如图6所示,于一素材S”上依序堆叠有一第一薄膜F1”、一第二薄膜F2”以及一第一薄膜F1”。而第三素材S3”、第四素材等后续进入该连续式真空工艺设备的素材,由于工艺流程同于第一素材S1”与第二素材S2”,故在此不再赘述。
太阳城集团本发明提出的工艺中,同时至少有两片以上的素材S可于该表面处理腔12内进行表面处理,较早进入该表面处理腔12的素材S始终相对较晚进入该表面处理腔12的素材S更靠近该后段工艺腔13(亦即较早进入该处面处理腔12的素材S与较晚进入该表面处理腔12的素材S无法交换彼此的前后关系),并且依照工艺需要在该表面处理腔12内进行来回且个别的移动,来回的次数则根据不同工艺需求而设定,因此,两片以上的素材S可位于该表面处理腔12内进行各自的工艺,针对任意组合的薄膜结构,只要设计素材S通过指定的腔体便可达到。

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真空设备 多载具 同时 处理 工艺
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