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工件台基板交接装置与预对准方法.pdf

摘要
申请专利号:

CN201510859960.8

申请日:

2015.11.30

公开号:

CN106814550A

公开日:

2017.06.09

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情: 授权|||著录事项变更IPC(主分类):G03F 7/20变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20151130|||公开
IPC分类号: G03F7/20; G03F9/00 主分类号: G03F7/20
申请人: 上海微电子装备有限公司
发明人: 杨玉杰; 朱岳彬
地址: 201203 上海市浦东新区张东路1525号
优先权:
专利代理机构: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
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法律状态
申请(专利)号:

CN201510859960.8

授权太阳城集团号:

|||||||||

法律状态太阳城集团日:

2018.08.24|||2017.09.08|||2017.07.04|||2017.06.09

法律状态类型:

授权|||著录事项变更|||实质审查的生效|||公开

摘要

本发明公开了一种工件台基板交接装置与预对准方法,所述装置包括设置在工件台上的检测反馈装置和气浮导轨装置、安装在气浮导轨装置上的运动基台、安装在运动基台上的支撑台、安装在支撑台上的带有气孔的基板台,气浮导轨装置控制运动基台沿X、Y向移动到基板交接位置,基板台上设置有真空吸盘装置,基板台周边的支撑台上设置有旋转夹紧机构;基板台利用气浮承放基板,真空吸盘装置吸附基板,旋转夹紧机构用于夹紧基板,根据检测反馈装置的检测真空吸盘装置以自身为中心旋转,进而实现基板沿Rz方向旋转,完成基板的交接和预对准。本发明不仅为基板的上板和预对准节省了太阳城集团,还采用无接触式的检测反馈装置有效避免了污染和损坏基板。

权利要求书

1.一种工件台基板交接装置,包括设置在所述工件台上的检测反馈装置和
气浮导轨装置、安装在所述气浮导轨装置上的运动基台、安装在所述运动基台
上的支撑台、安装在所述支撑台上的带有气孔的基板台,所述气浮导轨装置控
制所述运动基台沿X、Y向移动到基板交接位置,其特征在于,所述基板台上
设置有真空吸盘装置,所述基板台周边的支撑台上设置有旋转夹紧机构;
所述基板台利用气浮承放所述基板,所述真空吸盘装置吸附所述基板台上
的基板,所述旋转夹紧机构用于夹紧被所述真空吸盘装置吸附的基板,根据所
述检测反馈装置的检测所述真空吸盘装置以自身为中心旋转。
2.如权利要求1所述的工件台基板交接装置,其特征在于,所述基板台周
边的所述支撑台上还设置有导向销和挡销。
3.如权利要求1所述的工件台基板交接装置,其特征在于,所述气浮导轨
装置包括Y向气浮导轨和X向气浮导轨,所述X向气浮导轨安装在所述Y向气
浮导轨上,所述运动基台设置在所述X向气浮导轨上,所述运动基台在X向气
浮导轨上沿X向运动,所述X向气浮导轨在所述Y向气浮导轨上沿Y向运动。
4.如权利要求1所述的工件台基板交接装置,其特征在于,所述真空吸盘
装置包括真空吸盘、升降机构、旋转机构、马达及真空泵,所述真空吸盘与所
述真空泵连接,用于吸附所述基板,所述马达驱动所述升降机构带动所述真空
吸盘升降,所述马达驱动所述旋转机构带动所述真空吸盘绕自身旋转,继而带
动所述基板沿Rz方向旋转。
5.如权利要求1所述的工件台基板交接装置,其特征在于,所述旋转夹紧
机构包括夹紧部件、气缸及电磁阀组件,所述气缸驱动所述夹紧部件夹紧所述
基板,所述电磁阀组件控制所述夹紧部件的夹紧力度和角度。
6.如权利要求1所述的工件台基板交接装置,其特征在于,所述检测反馈
装置包括非接触式探测器和交接安全传感器。
7.如权利要求6所述的工件台基板交接装置,其特征在于,所述非接触式
探测器为CCD。
8.一种采用如权利要求1~7中任一种所述的工件台基板交接装置进行工件
台基板预对准的方法,其特征在于,包括:
步骤1、根据检测反馈装置的检测将基板台移动至正确的基板交接位,打开
气阀使基板台上方形成气浮;
步骤2、机械手将基板移动至所述基板台上方,使所述基板悬浮在所述基板
台上;
步骤3、所述基板台上的真空吸盘装置伸出并吸住所述基板,机械手返回;
步骤4、所述基板周边的旋转夹紧机构夹紧所述基板;
步骤5、所述真空吸盘装置根据检测反馈装置的检测以自身为中心旋转,同
时所述旋转夹紧机构调整夹紧力度和角度,实现所述基板Rz方向的旋转,完成
所述基板的预对准。
9.如权利要求8所述的工件台基板预对准方法,其特征在于,所述步骤1
中根据检测反馈装置的检测将基板台移动至基板交接位具体包括:在基板未到
达工件台之前,基板台沿Rx、Ry方向旋转并Z向下降调整至上片所需高度,检
测反馈装置检查确认基板台交接状态正常后,用于支撑所述基板台的运动基台
通过气浮导轨装置沿X、Y向移动到基板交接位置。
10.如权利要求9所述的工件台基板预对准方法,其特征在于,用于支撑
所述基板台的运动基台通过气浮导轨装置沿X、Y向移动到基板交接位置具体
为,所述气浮导轨装置包括Y向气浮导轨和X向气浮导轨,所述X向气浮导轨
安装在所述Y向气浮导轨上,所述运动基台设置在所述X向气浮导轨上,所述
运动基台在X向气浮导轨上沿X向运动,所述X向气浮导轨在所述Y向气浮导
轨上沿Y向运动。

关 键 词:
工件 台基 交接 装置 对准 方法
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