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实验检测台及检测方法.pdf

摘要
申请专利号:

太阳城集团CN201610967684.1

申请日:

2016.11.05

公开号:

CN106814200A

公开日:

2017.06.09

当前法律状态:

实审

有效性:

审中

法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 35/04申请日:20161105|||公开
IPC分类号: G01N35/04 主分类号: G01N35/04
申请人: 沈阳工业大学
发明人: 李冬至
地址: 110870 辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区沈辽西路111号
优先权:
专利代理机构: 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 代理人: 薛瑞
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法律状态
申请(专利)号:

CN201610967684.1

授权太阳城集团号:

|||

法律状态太阳城集团日:

2018.03.09|||2017.06.09

法律状态类型:

实质审查的生效|||公开

摘要

本发明提供一种实验检测台,包括垂直设置的平移传输带及步进链条;所述步进链条上设有承载载片的格栅支架,操作台通过安装操作臂控制吸盘沿步进链条的方向移动,沿平移传输带上还设有预制台,所述预制台包括铺设在平移传输带上方的测试板,该测试板上铺设有多组阵列设置的传感器,所述测试板上还设有可转动测试的探测头。本发明所述的实验检测台对环境的温度、湿度、灰尘等参数的影响控制标准化,可以对载片的检测形成连续检测,避免多次测量中环境的变化对实验结果造成影响,检测分离可以减小对测试空间的要求,可以减小设备体积,可以大批量连续检测,实验调节控制标准、检测速度快,检测重复性好。

权利要求书

1.实验检测台,其特征在于:包括垂直设置的平移传输带及步进链条;
所述步进链条上设有承载载片的格栅支架,所述载片通过弹性件插接固定在该格栅支
架上,所述步进链条通过步进电机控制步进前进,步进链条铺设在送样台上,所述送样台通
过升降杆控制整体的高度,该送样台设置在平移传输带一侧,与送样台配合的操作台对应
设置在平移传输带的另一侧,所述送样台朝向操作台一侧设有配适缺口,所述步进链条的
端部延伸至配适缺口的内凹边缘处,所述配适缺口的内凹边缘底部还包括计数器的探测
口,所述送样台在配适缺口两侧对称设置有一对限位板支架,通过设置在限位板支架上的
限位装置调整载片的位置;
操作台通过安装操作臂控制吸盘沿步进链条的方向移动,吸盘的安装架与配适缺口相
匹配且被配适缺口所限位,所述吸盘通过真空泵控制吸引及放开动作,所述操作台通过可
拆卸底座固定在操作轨上,所述操作轨与步进链条平行设置;
沿平移传输带上还设有预制台,所述预制台包括铺设在平移传输带上方的测试板,该
测试板上铺设有多组阵列设置的传感器,所述测试板通过多根悬空支架固定;
所述测试板上还设有可转动测试的探测头,该探测头通过调节轴、固定架、平移支架安
装在测试板上,所述调节轴沿设置在固定架上的弧形轨道移动,所述平移支架的转动控制
固定架沿水平方向移动,所述固定架与平移支架通过固定板及安装槽固定连接,所述安装
槽为设置在固定架上的两道平行槽体;
所述平移传输带的端部设有卸料台,该卸料台通过高度调节架控制与载片处于同一水
平高度上;
所述平移传输带上设有样品承载架,该样品承载架随平移传输带移动并通过调节支架
及调节支架上的弹性载物插槽运载载片,所述平移传输带通过四个方位调节台承载并通过
方位调节台控制水平及垂直方位;
所述方位调节台、送样台、操作台、预制台及卸料台均设置在平台台体上,所述实验测
试台设置在真空腔体内。
2.根据权利要求1所述的实验检测台,其特征在于:所述样品承载架包括对称设置的两
个支架轮结构,两个支架轮结构上通过调节支架承载放料台,弹性载物插槽设置在放料台
上,所述弹性载物插槽与吸盘及步进链条的弹性件设置在同一水平高度上。
3.根据权利要求1所述的实验检测台,其特征在于:所述操作台的吸盘与送样台的步进
链条配合动作,步进电机控制步进链条每前进一个行程,吸盘向前做一次吸取样品的动作。
4.根据权利要求1所述的实验检测台,其特征在于:所述送样台通过四根升降杆固定支
撑,所述升降杆通过电机及链条控制升降动作。
5.根据权利要求1所述的实验检测台,其特征在于:所述样品承载架上的弹性载物插槽
设置在调节支架上,所述调节支架通过一根转轴控制水平或垂直方向,所述转轴通过载物
电机控制转动,所述载片通过测试板时为水平状态,所述载片通过探测头时为垂直状态。
6.根据权利要求1所述的实验检测台,其特征在于:所述卸料台上设有吸盘,所述吸盘
设置在升降结构和水平移动结构上。
7.根据权利要求6所述的实验检测台,其特征在于:所述样品承载架到达卸料台旁时,
所述样品承载架撞击卸料台侧壁触动控制开关,所述控制开关气动升降机构及平移机构控
制吸盘与载片表面接触,所述吸盘的真空泵启动将载片吸附固定,所述升降机构及平移机
构复位,所述吸盘的真空泵放气将载片放置在卸料台表面,所述斜梁台表面设有循环转动
的卸料带,所述卸料带将载片输送到检测台真空腔体外部。
8.一种权利要求1-7所述的实验检测台的检测方法,其特征在于,包括如下步骤:
a、启动实验检测台,将承载有待检测样品的载片设在在格栅支架上并放置在真空腔体
内,真空腔体抽真空;
b、通过手套箱将格栅支架安装在步进链条上,将送样台的步进链条、操作台的吸盘及
平移传输带的调节支架设置在设定水平高度上,调整测试板传感器位置及探测头的位置,
调整卸料台的高度位置;
c、通过步进电机控制步进链条最前侧的载片通过配适缺口处的计数器,计数器完成计
数,操作台控制安装操作臂控制吸盘向步进链条方向移动直到安装架被配适缺口所限位,
真空泵控制吸盘将载片吸附并放置在平移传输带的样品承载架上;
d、所述平移传输带将载片传送到预制台的测试板下方并停止,所述阵列设置的传感器
扫描样品并获取数据;
e、所述平移传输带将载片传送到测试板的探测头下方并停止,所述探测头沿弧形轨道
移动扫描样品并获取数据;
f、所述平移传输带将载片传送到卸料台侧,载片通过卸料带输送到真空腔体外部。

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实验 检测 方法
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